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HORIBA SEC-N114MGM氣體質(zhì)量流量控制器
HORIBA提供多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產(chǎn)品都擁有高精度、快速響應(yīng)的特性。多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
HORIBA SEC-N114MGM氣體質(zhì)量流量控制器
概要
適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。可實(shí)現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應(yīng)。同時(shí)這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。
*1包括SEC-N177R
特征
- 大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
- 多種通訊方式及電源供給
規(guī)格
型號(hào) | SEC-N11- | SEC-N12- | SEC-N13- | SEC-N14- |
全程流量范圍 | 10SCCM-10SLM | 11SLM-50SLM | 51SLM-100SLM | 101SLM-200SLM |
可控流量范圍 | 2~*全流量 | |||
精度 | ±1%設(shè)定流量（設(shè)定流量＞30%全流量） ±0.3%全流量（設(shè)定流量≤30%全流量） | |||
響應(yīng)速度 | ≤1秒 | |||
氣路材質(zhì) | SUS 316L,PTFE,磁性不銹鋼 | SUS 316L | ||
密封圈材質(zhì) | 金屬/橡膠 | |||
閥門類型 | NC;常閉 | NC；常開(kāi) NO; 常開(kāi) | ||
適用的差壓范圍 | 50~300Kpa(d);~3slm 100~300Kpa(d);~10slm | 200~300KPa | 100~300KPa | 200~300KPa |
抗壓能力 | 100KPa（g） | |||
產(chǎn)品外漏水平 | ＜5X10-12Pa·m3/s（He）;金屬密封 ＜1X10-10Pa·m3/s（He）;橡膠密封 | |||
接口 | 1/4VCR 124mm | 1/2VCR 132mm | ||
數(shù)字式通訊協(xié)議 | RS-485 | |||
應(yīng)用市場(chǎng)
質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、FPD、光纖、光伏、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境、食品、生物制藥等行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。
質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)的區(qū)別
質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測(cè)量和流量控制兩種功能。
質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，只有流量測(cè)量功能，不具備氣流控制功能。
質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)的單位
SCCM、SLM為常見(jiàn)的MFC或MFM的使用單位。SCCM和SLM是指在標(biāo)準(zhǔn)條件下的體積單位。標(biāo)準(zhǔn)條件指溫度為零攝氏度，一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的條件。
SCCM–標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘
SLM–標(biāo)準(zhǔn)立方升每分鐘
1000SCCM = 1SLM
質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)使用小貼士
- 一般情況下當(dāng)一顆MFC或MFM接上電源線后，確保環(huán)境溫度穩(wěn)定并使其接電預(yù)熱15分鐘以上，可有效確保產(chǎn)品精度及穩(wěn)定性。
- 在安裝過(guò)程中，位于MFC或MFM背部大標(biāo)簽下方有指示氣體流經(jīng)的方向。
HORIBA SEC-N114MGM氣體質(zhì)量流量控制器