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HORIBA S600≤50SLM氣體質量流量控制器
高精度
快速響應
自動調零
任意角度安裝
產品簡介
詳細介紹
HORIBA S600≤50SLM氣體質量流量控制器
應用市場
質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、FPD、光纖、光伏、真空鍍膜、分析、化工、環境、食品、生物制藥等行業的氣流測量與控制。
質量流量控制器和質量流量計的區別
質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測量和流量控制兩種功能。
質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，只有流量測量功能，不具備氣流控制功能。
質量流量控制器和質量流量計的單位
SCCM、SLM為常見的MFC或MFM的使用單位。SCCM和SLM是指在標準條件下的體積單位。標準條件指溫度為零攝氏度，一個標準大氣壓的條件。
SCCM–標準立方厘米每分鐘
SLM–標準立方升每分鐘
1000SCCM = 1SLM
質量流量控制器和質量流量計使用小貼士
- 一般情況下當一顆MFC或MFM接上電源線后，確保環境溫度穩定并使其接電預熱15分鐘以上，可有效確保產品精度及穩定性。
- 質量流量控制器中的Normal Close與Normal Open的區別
Normal Close型的MFC： 斷電情況下，閥保持常關狀態的MFC。
Normal Open型的MFC： 斷電情況下，閥保持全開狀態的MFC。
- 在安裝過程中，位于MFC或MFM背部大標簽下方有指示氣體流經的方向。
| S600系列 橡膠密封/金屬密封 | S600系列 橡膠密封 | ||||||||
產品型號 | PROFIBUS(橡膠密封):BR226 PROFIBUS(金屬密封):BM26 RS485(橡膠密封):BR222 RS485(金屬密封):BM222 | PROFIBUS(橡膠密封):CR226 RS485(橡膠密封):CR222 | ||||||||
滿量程流量 | 10/20/100/200/300/500 SCCM1/2/3/5SLM | 10/20/30SLM
| 50 SLM
| 100SLM | 150SLM | 200SLM | ||||
閥類型 | 常閉 | 常閉 | ||||||||
閥驅動 | 電磁調節閥 | 電磁調節閥 | ||||||||
流量控制范圍 | 2-* F.S. | 2-* F.S. | ||||||||
響應時間 | ≤1. 5sec(Typical 1sec) | ≤1. 5sec(Typical 1sec) | ||||||||
流量精度 | ±1．0%SP. Flow rate >30% F.S. ±0.3%F.. (Flow rate s30% F.S. | ±1．0%SP. Flow rate >30% F.S. ±0.3%F.. (Flow rate s30% F.S. | ||||||||
線性 | ±0.5%F.S | ±0.5%F.S | ||||||||
重復性 | ±0.2%F.S | ±0.2%F.S | ||||||||
工作壓差 | 50~300kPa(D) | 100~300kPa(D) | 200~300kPa(D) | 50~300kPa(D) | 50~300kPa(D) | 50~300kPa(D) | ||||
大壓力 | 450Kpa（G） | 300Kpa（G） | ||||||||
耐壓 | 1MPa（G） | 1MPa（G） | ||||||||
通訊 | PROFIBUS或RS485(STEC協議) | PROFIBUS或RS485(STEC協議) | ||||||||
電源電壓 | ±24VDC | ±24VDC | ||||||||
功耗 | 7.5VA | 7.5VA | ||||||||
HORIBA S600≤50SLM氣體質量流量控制器