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HORIBA STEC SEC-Z522MGX質量流量控制器
高精度
快速響應
自動調零
任意角度安裝
產品簡介
詳細介紹
HORIBA STEC SEC-Z522MGX質量流量控制器
HORIBA STEC SEC-Z522MGX質量流量控制器
概要
- 高精度
- 快速響應
- 自動調零
- 任意角度安裝
特征
- 高精度±1.0% S.P.
HORIBA MFC包含多項式近似曲線實現線性補償。此功能實現量程上的高精度。為了真實的反應實際氣體精度，HORIBA STEC監測了不同的工藝氣體創建了針對不同氣體的校正數據，建立標準氣體管理系統，實現氣體精度確認。 - 高速響應
裝載“變量PID系統”可實現兩設定點之間1秒內快速響應。變量PID基于流量設定點而持續變化。即使滿量程或氣體更改，也能不會影響PID功能。
規格
質量流量控制器型號 | *1 | SEC-Z512KX | SEC-Z512MGX | SEC-Z522MGXN | SEC-Z522MGX | ||
SEC-Z512X | SEC-Z522XN | SEC-Z522X | |||||
質量流量計型號 | *1 | SEF-Z512KX | SEF-Z512MGX | SEF-Z522MGXN | SEF-Z522MGX | ||
SEF-Z512X | SEF-Z522XN | SEF-Z522X | |||||
全量程流量 （氮氣轉換流量） |
1/2 SCCM | MR/MG 編號#R1.5: 17.5 SCCM #1.5: 55 SCCM #2.5: 175 SCCM #3.5: 550 SCCM #4.5: 1.75 SLM #5.5: 5.5 SLM | #R01: 10 SCCM #01: 30 SCCM #02: 100 SCCM #03: 300 SCCM #04: 1 SLM #05: 3 SLM #06: 10 SLM |
MR/MG 編號#6.5: 22 SLM #07: 30 SLM #08: 50 SLM | |||
閥類型 | O: 全開 C: 全閉 | ||||||
閥全閉時流量 | ≤ 2%F.S | ||||||
流量控制范圍 | 2~* F.S | ||||||
流量監測范圍（SEF） | 0~* F.S | ||||||
精度 | *2 | ±1.0% F.S | ±1.0% S.P. (設定流量> 25% F.S.) ±0.25% F.S. (設定流量≤ 25% F.S.) | ||||
工作溫度 | 5 ~ 50°C (推薦溫度范圍: 15 ~ 45°C) | ||||||
響應時間 | ≤ 1 秒: 流量控制范圍 | ||||||
線性 | ≤±0.5%F.S | ||||||
重復性 | ≤±0.2%F.S | ||||||
工作壓差 | 50 ~ 300 kPa (d) | 50 ~ 300 kPa (d) #5.5, #06: 100 ~ 300 kPa (d) | 200 ~ 300 kPa (d) | ||||
工作壓差（SEF） | ≤ 300 kPa (d) | ||||||
大工作壓力 | 450 kPa (g) | ||||||
大承受壓力 | 1000 kPa (g) | ||||||
外漏 | ≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He) | ||||||
流量設定信號 | 0.1 ~ 5 V DC (2% ~ F.S); 輸入阻抗1MΩ或更高 | ||||||
流量輸出信號 | 0 ~ 5 V DC (0% ~ F.S.); 小負載電阻2kΩ或更高 | ||||||
數字接口 | 具備地址功能n: RS-485 (傳送速率 38,400 bps) F-Net 協議 | ||||||
內部接觸表面 | 316L 不銹鋼 (表面拋光) | ||||||
電源供應 |
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| +15V 5% 150mA | -15V 5% 150 mA |
| ||
信號響應 | 模擬式: D-Sub 9-pin (頂部) 數字式: 2 LAN jacks (頂部) | ||||||
標準接頭 | *3 | 1/4 英寸 VCR 相當 可選: 1.125英寸 IGS, 1.5英寸 IGS | 1/4 英寸 VCR相當 可選: 1.125英寸 IGS | 1.5英寸 IGS | |||
安裝方向 | 自由 | ||||||
HORIBA STEC SEC-Z522MGX質量流量控制器