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產品簡介:
四質譜計是在高真空條件下，離子源的電子轟擊氣體分子使其離化。
離子進入四過濾器按不同質荷比分離，采集離子流，放大后進行數據處理，獲得相應的質譜數據。
儀器可安裝在使用者的高真空設備上進行殘氣分析，亦可配備適當的高真空系統和進樣裝置作為立的分析儀器使用。
離子流采集的常規結構為法拉弟筒/通道倍增器復合式（即 FC/CEM ）。離子流放大器的輸入高阻設為 10M Ω ,1G Ω , 100G Ω 三擋，采用電子倍增器方式時一般選用 1G Ω高阻或 10M Ω高阻。儀器控制與數據處理系統適用于 WindowsXP 或 Windows2000 ，儀器提供模擬譜圖，棒狀譜圖和多達 10 個離子的多離子監測譜圖。數據系統的接口界面由 80C 196 單片機（ 16 位）以及 A/D 、 D/A 等構成，RS232 串口與電腦通訊實現儀器的控制與數據處理。儀器安裝方便，操作簡單，應用與真空科學、電子、半導體工業、石油化工的催化研究等多種領域。另外，本儀器可以派生為儀器，如，已用于計量作為鑒定分子漏孔的氦四質譜計。
指標
范圍：1-100u，1200u，1300u
靈敏度：1×10 -1A/Pa （對 N--2 ，帶CEM）
分辨率： △m ＜1（10% 谷）
峰位穩定性：±0.4u/4h
掃描速度：100ms-30s/u
檢測器：FC，FC/CEM ，或 FC/MCP
（FC-法拉弟筒，CEM通道倍增器MCP-微通道板）
zui高工作壓強：1×10 -2 Pa
zui高烘烤溫度：30 0 ℃
接口法蘭：CF50，CF63
電子單元尺寸：240×150×150mm
四探頭伸入真空腔尺寸：
1-100u：φ70X180mm
1-300u：φ70X250mm