等離子清洗機能改善親水性，提高粘接性，等離子清洗機能去除肉眼看不見的有機污染物和表面吸附層，以及工件表面的薄膜層。等離子清洗機一次精密的清洗處理可以解決工件表面的附著力問題。

1、等離子清洗機的激活鍵能-交聯作用

等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體清洗機對工件表面處理后，可以使工件表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀的交聯結構，大大地激活了表面活性。

等離子清洗機利用等離子體與材料表面發生物理或化學反應來提高材料的表面性能,解決材料清洗難,粘接難與印刷難的問題。

2、等離子清洗機對材料表面轟擊-物理作用

等離子清洗機主要是利用等離子體里大量的離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子作純物理的撞擊，把工件表面的原子或附著工件表面的原子打掉，不但清除了工件表面原有的污染物和雜質，而且會產生刻蝕作用，將工件表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了工件表面的比表面積，提高固體表面的潤濕性能。由于離子在壓力較低時的平均自由基較輕長，得到能量的累積，因而在物理撞擊時，離子的能量越高，越是有更多能量作撞擊，所以若要以物理作用為主時，就必須控制較低的壓力下來進行反應，為了保證較低的壓力，需要持續通入空氣或者其他氣體，這樣清洗效果較好

3、等離子清洗機能形成新的官能團--化學作用

以化學反應為主的等離子清洗機具有：性能好、清洗快、去除氧化物、有機物及物體表面活化效果比較好，且使用過程中不會產生對人體和環境有害的氣體來，是一種真正環保的表面處理設備

等離子清洗機的化學作用其反應機理主要是利用等離子體里的自由基來與材料表面做化學反應，頻率和壓力較高時，對自由基的產生較有利，所以若要以化學反應為主時，就必須配備較高的頻率和較高的壓力來進行反應。

在化學反應里常用的氣體有氫氣（H2）、氧氣（O2）、甲烷（CF4）等，這些氣體在等離子清洗機內反應成高活性的自由基，引入反應性氣體，那么在活化的材料表面會發生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。