等離子清洗機能去除材料表面物、顆粒、臟污物、氧化物、有機物，增加潔凈度、提升親水性、增強粘貼力

等離子清洗機在光電及電子行業的應用

各種玻璃表面清洗，提高玻璃表面親水性，優化玻璃鍍膜、印刷、粘合及噴涂；

鋼化膜噴涂前、3D玻璃表面、建筑玻璃、儀表儀器、玻璃鍍膜前采用等離子清洗機提高表面潔凈度；

玻璃表面的防指紋、噴指紋油采用等離子清洗機AF鍍膜防指紋前處理

化妝瓶表面印刷、噴涂前采用等離子清洗機處理提高瓶身表面附著力；

柔性和非柔性印刷電路板觸點采用等離子清洗機清潔、LED熒光燈“觸點"清潔及提高表面點膠的牢固性；

電子元件加工采用等離子清洗機進行預處理、PCB清洗、去靜電、LED支架、IC等表面清潔及粘接等作用；

等離子清洗機用于手機按鍵和筆記本鍵盤粘接、手機外殼和筆記本外殼的涂裝

等離子清洗機用于LCD柔性薄膜電路貼合，由于等離子體是電中性的，因此在處理時不會損傷保護膜、ITO膜層和偏振濾鏡。等離子清洗機處理過程可以“在線"進行，并且無需溶劑，因此更加環保

等離子清洗機能去除光刻膠、電路板去膠，提升材料表面的親水性、附著力、粘接力

等離子清洗機在去除光刻膠方面的具體使用：等離子清洗機的應用包括預處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、晶圓凸點、消除靜電、介電質刻蝕、有機污染去除、晶圓減壓等。使用等離子清洗機不僅能*清除光刻膠等有機物，還能活化加粗晶圓表面，提高晶圓表面的浸潤性，使晶圓表面更加具有粘接力。

晶圓光刻蝕膠等離子清洗機與傳統設備相比較，有很多優勢，設備成本不高，加上清洗過程氣固相干式反應，不消耗水資源，不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統的濕法清洗工藝。此外，等離子清洗機解決了濕法去除晶圓表面光刻膠反應不準確、清洗不*、易引入雜質等缺點。不需要有機溶劑，對環境也沒有污染，屬于低成本的綠色清洗方式

作為干法清洗等離子清洗機可控性強，一致性好，不僅*去除光刻膠有機物，而且還活化和粗化晶圓表面，提高晶圓表面浸潤性

晶圓清潔-等離子清洗機用于在晶圓凸點工藝前去除污染，還可以去除有機污染、去除氟和其它鹵素污染、去除金屬和金屬氧化。

等離子清洗機對材料表面的刻蝕作用–物理作用：

等離子體中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質，而且會產生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

等離子清洗機用于刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理。廣泛用于真空電子、LED、太陽能光伏、集成電路、生命科學、半導體科研、半導體封裝、芯片制造、MEMS器件等領域。ICP硅刻蝕、CCP介質刻蝕、金屬刻蝕，實現各向異性刻蝕，保證細小圖形轉移后的保真性