等離子清洗機主要適用于各種材料的表面改性處理∶表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合以及等離子體輔助化學氣相沉積。

等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂.

等離子清洗機的表面刻蝕作用：硅的微細加工，玻璃等太陽能領(lǐng)域的表面刻蝕處理，醫(yī)療器皿表面刻蝕處理；

等離子體蝕刻機屬于電子工業(yè)的干洗，在一定的真空條件下,對氣體施加走過的能力使之離化為等離子體,等離子體處理樣品表面從而實現(xiàn)清潔、改性、刻蝕的目的.將污染物轉(zhuǎn)換為氣相，并通過真空泵用連續(xù)氣體流將其排出。

等離子清洗機設(shè)備廣泛應(yīng)用于：等離子清洗、刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理。產(chǎn)品主要分布在真空電子、LED、太陽能光伏、集成電路、生命科學、半導體科研、半導體封裝、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域