等離子清洗機是一種非破壞性的表面處理設備，通過能量轉換技術在一定負壓狀態下，電能將氣體轉化為*活性的等離子體，等離子體輕柔沖刷固體樣品表面，引起分子結構的改變，從而達到對樣品表面有機污染物進行超清洗，在極短時間內有機污染物被外接真空泵抽走，其清洗能力可以達到分子級。在一定條件下等離子體也可使樣品表面特性發生改變。由于采用氣體作為清洗介質，所以能有效避免樣品的再次污染。

等離子清洗機既能加強樣品的粘附性、相容性和浸潤性，也能對樣品進行殺毒和滅菌。

目前，等離子清洗機已廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、高分子、生物醫學、微觀流體學等領域。

等離子體清洗技術優點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對玻璃、金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。 等離子體的”活性”組分包括：離子、電子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等目的。