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產品簡介
電子化學品,半導體化學材料,高壓計量泵,風囊泵,芯片用電子化學品,半導體化學品,高壓輸液泵,ic化學品,氟材料高壓計量泵,光刻化學品 蝕刻化學品 氫氟酸、鹽酸 光阻膠 光刻膠輸送 濕化學品輸送 半導體專用泵
詳細介紹
SF1005D氟材料高壓計量泵流路做了無金屬優化，接觸液體的材料為FFKM、PTFE和特種陶瓷，流量范圍0.01—100.00ml/min，耐壓達到5Mp，揚程高傳輸距離長，是三為科學針對電子化學品領域開發的一款耐腐蝕有高壓輸送需求的四氟泵。SF1005D高壓氟泵還具有：在線流量和壓力變化曲線、客戶端流量校正，按體積輸送功能和按重量輸送功能，通訊方面有：Modbus 、Profibus和Profinet協議，PLC，模擬量輸入：0—5V , 4—20 mA，485/232/usb/網口等選擇；流量精度高、壓力脈沖低，重復性好，質量優異，廣泛應用于電子化學品輸送領域和化工反應器配套領域。
技術特點：
1， 壓力保護設定：可設置最壓力上限和下限；
2， 壓力脈沖低 ， 采用凸輪曲線補償和流量脈沖電子抑制技術；
3， 流速單位切換：按體積輸送ml/min和按質量輸送g/min；
4， 流量校準：提供用戶參數區用于校準泵的流速，滿足不同系統工況需求；
5， 流量控制程序： 提供兩種運行程序，恒流運行和梯度運行；
6， 壓力曲線顯示：各設備分別顯示當前壓力曲線，直觀判斷設備運行狀況；
7， 流量曲線顯示：各設備分別顯示當前運行的流量曲線；
8， 柱塞桿清洗系統，延長泵的使用壽命;
9， 支持RS-232，RS-485，RS-422，USB通訊；Modbus RTU和 ASCII協議；
10， 一對多控制，單泵操作和多元梯度操作自由選擇，可擴展1對32操作；
11， 運行數據保存：開啟或停止數據記錄，將壓力曲線和流量曲線保存至Excel格式文件中。
12， 設置方法保存：保存運行參數設置，如串口端口參數，壓力保護值，流量控制程序等。
13， 可以實現流體入口天平減重系統的閉環控制（根據客戶天平規格定制）。
SF1005D高壓氟泵參數：
| 序號 | 產品型號 | SF1005D |
| 1 | 泵頭材質 | 不銹鋼內嵌PCTFE泵頭，螺紋加工在不銹鋼上 |
| 2 | 輸液方式 | 雙柱塞并聯模式，浮動柱塞設計 |
| 3 | 流量范圍 | 0.01-100.00/min |
| 4 | 增量 | 0.01ml/min |
| 5 | 流量準確度 | ± 0.5% |
| 6 | 流量重復性 | ≤ 0.1% |
| 7 | 壓力范圍 | ≤ 5Mpa |
| 8 | 壓力脈動 | ≤ 0.05Mpa |
| 9 | 流路材料 | FFKM、PTFE、特種陶瓷 |
| 10 | 出口管路 | φ3mm、φ3.175、φ4mm |
| 11 | 流量校正點 | 0.01、0.1、1、10、20、40、60、80、100ml/min |
| 12 | 流量校正功能 | 用戶端 0.01--100.00ml范圍內多參數流量校正功能 |
| 13 | 通信功能 | RS232，USB(標配）；RS485/422(選配)； Modbus 協議 |
| 14 | 上位機軟件 | SanoFlu流體控制管理系統 |
| 15 | 電源 | 85 ～ 264VAC,50Hz |
| 16 | 尺寸 | 370×240×152 mm3 |