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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司>>PECVD系統(tǒng)>> BTF-1200C-RP-PECVD連續(xù)回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)

連續(xù)回轉(zhuǎn)PECVD系統(tǒng)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) BTF-1200C-RP-PECVD
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市
在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

更新時(shí)間:2021-11-11 15:16:22瀏覽次數(shù):1476

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產(chǎn)品簡介

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該款設(shè)備是全自動(dòng)Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD),連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等,配備真空系統(tǒng),可以低壓條件下實(shí)現(xiàn)工藝,PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光相對(duì)均勻等效,很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),該設(shè)備爐管可360°旋轉(zhuǎn),有助于粉料的燒結(jié)更均勻,可大角度傾斜,方便進(jìn)出料,傾斜角度在0-35°之間,所有物料經(jīng)過的管道都選用非金屬材質(zhì),

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

加熱系統(tǒng)Heating system

功率

4KW

電壓

AC220V  50/60Hz

zui高溫度

1200°C

使用溫度

1100°C

加熱長度

200mm+200mm

恒溫長度

250mm



控溫方式



模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)

智能化30段可編程控制

超溫和斷偶報(bào)警功能

操作界面為10 "液晶觸摸屏控制

控溫精度

+/- 1℃

爐管尺寸

Size:Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm

尺寸:Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm

Furnace tube rotation rate:0~60r/min

爐管轉(zhuǎn)速:0~60r/min

Furnace body inclination angle

0~35°(adjustable)

Plasma系統(tǒng)

本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中,電子密度高,通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式。

T

進(jìn)料系統(tǒng)

送料系統(tǒng)速度連續(xù)可調(diào),停止送料且爐體傾斜zui大時(shí),物料不會(huì)從送料系統(tǒng)外漏,送料系統(tǒng)方便拆卸,拆卸后可手動(dòng)加料,設(shè)備可正常運(yùn)行。

T

出料系統(tǒng)

出料系統(tǒng)在爐體傾斜出料時(shí)可自動(dòng)出料。)


氣體控制系統(tǒng)

該控氣系統(tǒng)是可以控制兩種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比的,也可以獨(dú)立控制,質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)的機(jī)柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。



低真空系統(tǒng)

該系統(tǒng)配備真空機(jī)械泵,可以抽真空,可以讓設(shè)備在真空環(huán)境下進(jìn)行反應(yīng)。



氣料分離系統(tǒng)

該系統(tǒng)可以讓設(shè)備在充氣體保護(hù)或者抽真空時(shí),實(shí)現(xiàn)氣體與物料的分離。



過濾系統(tǒng)

該系統(tǒng)可防止物料進(jìn)入真空泵,保證真空泵的正常運(yùn)行。


爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)

爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào),且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時(shí)間運(yùn)行。  




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