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普利賽斯LS1220MSCS電子天平在硅片稱重中的應用

時間:2025/4/11閱讀:341
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普利賽斯(Precisa)LS1220MSCS電子天平作為高精度實驗室稱重設備,在半導體硅片稱重領域具有顯著優勢,尤其在硅片生產、分選和質檢環節中表現突出。以下是其核心應用特點及適配性分析:

1. 硅片稱重的核心需求

超高精度:硅片重量差異微小(如12英寸硅片約100g±0.1g),需天平常規精度≤0.001g(1mg)。

無污染操作:避免靜電或機械接觸導致硅片損傷。

環境穩定性:減少氣流、溫度波動對超薄硅片稱重的影響。

LS1220MSCS關鍵參數匹配

量程1200g,分辨率0.01g(可定制更高精度版本);

防風罩設計(配置MSCS型號),降低氣流擾動;

靜電消散材質秤盤(可選配導電玻璃或金屬涂層)。

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2. 應用優勢詳解

(1)高重復性 & 合規性

采用電磁力補償傳感器,確保重復性誤差<±0.002g,滿足半導體行業對批次一致性的嚴苛要求(如ISO 14644潔凈室標準)。

內置校準確認功能(符合GMP/GLP規范),可直接用于工藝驗證。

(2)防污染與靜電控制

無接觸稱重:可選配懸浮式稱重托盤,避免硅片與秤盤摩擦(減少劃傷風險)。

抗靜電方案:集成電離棒選件,消除硅片表面靜電荷對重量的干擾(尤其對拋光硅片關鍵)。

(3)智能化集成

數據輸出:RS232/USB接口直接對接MES系統,記錄每片硅片重量并生成SPC統計圖。

自動分選:通過設定閾值(如重量范圍100g±0.05g),觸發分揀機械臂動作(需外接PLC)。

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