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美國QUARTZDYNE石英壓力傳感器響應于壓力變化而變化的頻率

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美國Quartzdyne的壓力傳感器是一種石英諧振器,可根據壓力改變頻率。該結構是一個帶有封閉端的厚壁空心圓柱體。厚度剪切模式盤式諧振器劃分空心圓柱體的中心部分。外部流體壓力在流體靜壓下壓縮石英圓筒,在諧振器中產生內部壓縮應力。傳感器的振動頻率響應于該應力而改變。
 

傳感器由結晶石英制成,是天然壓電的。當電場施加到其電極時,石英諧振器使用逆壓電效應來誘導諧振器以其機械諧振頻率振動。一個振蕩器電路提供電源,并允許待測量的頻率。
 

由于頻率(及其倒數,時間)可以比任何其他參數更地測量,因此傳感器的頻率輸出可提供高分辨率的壓力測量。
 

石英是一種的彈性材料,可提供傳感器穩定性和可重復性。石英諧振器具有高Q值,這意味著其振動可以用非常小的電力驅動。這為電池供電的應用提供了長久的使用壽命。


三晶傳感器組件

的“換能器”是產生頻率或數字輸出信號所需要的整個組件。每個Quartzdyne換能器都依賴于三個厚度剪切模式的石英諧振器:壓力傳感器,溫度傳感器和參考晶體。

石英壓力傳感器

的石英壓力傳感器響應于壓力變化而變化的頻率。由于壓力晶體的頻率隨溫度變化很小,因此使用石英溫度傳感器來提供數字溫度補償。我們使用石英晶體溫度傳感器,因為它提供穩定性,抗沖擊性和高分辨率以及低功耗。

參考晶體是Quartzdyne聯合創始人Dr. Errol P. EerNisse發現的SC切割晶體。(SC切割是用于精密實驗室頻率計數器的晶體。)參考晶體的輸出信號與壓力和溫度信號混合,以將其頻率從MHz范圍降低到kHz范圍。(這簡化了頻率計數要求。)在室溫和壓力下,壓力,溫度和參考晶體的頻率分別約為7.22 MHz,7.15 MHz和7.20 MHz,提供20 kHz和50的壓力和溫度輸出千赫。壓力信號隨壓力增加而溫度頻率隨溫度降低。
 

參考信號也可用于計算兩個傳感器頻率。由于參考信號是數字溫度補償的,因此不會引入額外的溫度誤差。一秒鐘的澆口時間容易獲得0.01psi的壓力和0.001℃的溫度的分辨率。
 

換能器的金屬外殼包含高壓流體,并且三個晶體和電路都有震動。外殼設計還確保三個石英晶體熱耦合以進行溫度補償。

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