近年來，基于差分吸收光譜（以下簡稱DOAS）技術的新型CEMS系統逐漸成為主流技術路線。光纖光譜儀作為CEMS系統的核心部件，它的主要作用是將系統中的光信號轉化為電信號，再對光電轉化后的信號進行相關的處理后可測量脫硝、脫硫前后煙氣中的SO2 、NO、 NO2等氣體的含量。

DOAS以比爾-朗伯定律為依據，該定律描述了光路中分子數與被吸收的光能之間的關系。由于每種分子，每種氣體，都有其*的吸收光譜特性，或者稱為“指紋”，所以可以通過紫外-可見波長范圍內的特征吸收結構同時測量出幾種不同氣體的濃度。

微型光纖光譜儀的主要性能參數有光譜范圍、光譜分辨率（FWHM）、雜散光、光路穩定性、非線性效應等。

1、光譜范圍 
根據需要分析氣體的種類特征吸收譜線的范圍來確定光譜儀波長范圍，同時要兼顧分辨率，光譜范圍越寬分辨率越低。 

2、光譜分辨率
光譜分辨率也稱光譜帶寬，通常用nm或cm-1表示。分辨率越高，分辨光譜細節的能力越強。

3、雜散光
雜散光是指光路中被探測到的所有非信號光。雜散光的存在綜合影響CEMS系統的探測限、信噪比、濃度測量度，雜散光越小系統誤差越小。

4、光路穩定性

光路穩定性主要指由于溫度、外力加速度引起的光學平臺形變而導致的波長和幅度漂移。光路穩定性對濃度測量結果產生較大影響，AvaSpec-ULS系列光譜儀大大降低雜散光并提高了機械和溫度穩定性，具有一個雙內置模式消除器和多階復合拋物面鏡，機械強度提高10倍。

5、非線性

非線性定義為光譜儀測量實際幅值與理論幅值的比值。作為系統誤差，非線性效應在測量吸光度時會影響曲線的形狀、數值以及各個區間的比例。