結

構

參數

X,Y軸行程

100 mm

結

構

描

述

行程

120 mm

臺面尺寸

300×300mm

臺面尺寸

220mm×140mm

螺桿導程

4 mm

驅動機構

精研絲杠副

導軌

精密交叉滾柱導軌

導軌形式

滑動導軌

步進電機（步距角）

42(1.8°)

步進電機(1.8°)

57BYG

主體材料

鋁合金

主體材料

鋁合金

表面處理

陽極氧化發黑

表面處理

陽極氧化發黑

臺面中心承載

50 kg

中心承載

10kg

平臺自量

8.3 kg

重量

6kg

精

度

參數

分辨率

20μm（無細分），2.5μm（8細分）

調整量

5μ（無細分）

0.25μ（20細分）

速度

40mm /sec

精

度

描

述

速度

5/sec

重復定位精度

2μm

重復定位精度

10μ

定位精度（選配光柵）

3μm

空回

4μ

直線度

5μm

丟步

3μ

運動平行度

15μm

俯仰

50″

偏擺

25″

回程間隙

2μm

丟步

2μm

回程間隙

2μm

丟步

2μm

可加裝光柵尺(G)

可換裝伺服電機(D)