結

構

描

述

X，Y軸行程

50 mm

行程

60 mm

臺面尺寸

155×155mm

臺面尺寸

120mm×80mm

螺桿規格

自加工絲桿副

驅動機構

精研絲杠副

導軌

高級交叉滾柱導軌

導軌形式

滑動導軌

步進電機（步距角）

國產普通28（1.8°）電機

步進電機(1.8°)

42BYG

主體材料

鋁合金

主體材料

鋁合金

表面處理

陽極氧化發黑

表面處理

陽極氧化發黑

臺面承載（kg）

10

中心承載

5kg

重量(kg)

3.2

重量

1.15kg

精

度

描

述

分辨率

5μm（無細分） ,0.625μm (8細分）

調整量

5μ（無細分）

0.25μ（20細分）

速度

6mm /sec

速度

/sec

重復定位精度

40μm

重復定位精度

10μ

定位精度（選配光柵）

50μm

空回

4μ

直線度

5μm

丟步

3μ

運動平行度

15μm

俯仰

50″

偏擺

25″

回程間隙

2μm

丟步

2μm

回程間隙

2μm

可加裝光柵尺(G)
可換裝伺服電機(D)