結                    

構                    

參                    

數                    

行程                    

50 mm                    

100 mm                    

150 mm                    

200 mm                    

300 mm                    

400 mm                    

500 mm                    

臺面尺寸                    

120×120mm                    

120×120mm                    

120×120mm                    

120×120mm                    

120×120mm                    

120×120mm                    

120×120mm                    

螺桿規格                    

精密滾珠螺桿（導程4 mm）                    

滾珠螺桿（導程5 mm）                    

導軌                    

精密線性滑塊導軌                    

步進電機(步距角)                    

42（1.8°）                    

57（1.8°）                    

主體材料                    

鋁合金                    

表面處理                    

陽極氧化發黑                    

臺面中心負載                    

30 kg                    

50 kg                    

平臺自重                    

2.8kg                    

3.4kg                    

4.5kg                    

5.2kg                    

6.3kg                    

7.2kg                    

8.3kg                    

精                    

度                    

參                    

數                    

8細分分辨率                    

2.5μm                    

3.125μm                    

速度                    

20mm/sec                    

40mm/sec                    

50mm/sec                    

重復定位精度                    

5μm                    

定位精度（選配光柵）

8μm                    

直線度                    

5μm                    

6μm                    

8μm                    

運動平行度                    

10μm                    

15μm                    

20μm                    

俯仰                    

25″                    

50″                    

60″                    

偏擺                    

20″                    

25″                    

30″                    

回程間隙                    

2μm                    

丟步運動                    

3μm                    

5μm                    

附件描述                    

可加裝失電制動功能(Z)                    

可加裝光柵尺(G)                    

可換裝伺服電機(D)                    

可加裝防塵罩(F)                    

結                    

構                    

描                    

述                    

角度范圍                    

360°                    

臺面尺寸                    

φ100mm                    

傳動比                    

180∶1   90:1                    

驅動機構                    

蝸輪和蝸桿機構                    

導軌形式                    

軸承                    

步進電機(1.8°)                    

42BYG                    

主體材料                    

鋁合金                    

表面處理                    

陽極氧化發黑                    

中心承載                    

45kg                    

重量                    

1.7kg                    

精                    

度                    

描                    

述                    

分辨率                    

0.01°（無細分）                    

0.0005°=1.8″（20細分）                    

速度                    

25°/sec                    

重復定位精度                    

0.005°=18″                    

定位精度（選配光柵）

0.01°=36″                    

端跳精度                    

15μ                    

空回                    

0.005°=18″                    

偏心                    

5μ                    

丟步                    

0.005°=18″                    

平行度                    

80μ                    

結

構

描

述

行程

60 mm

臺面尺寸

120mm×80mm

驅動機構

精研絲杠副

導軌形式

滑動導軌

步進電機(1.8°)

42BYG

主體材料

鋁合金

表面處理

陽極氧化發黑

中心承載

5kg

重量

1.15kg

精

度

描

述

調整量

5μ（無細分）

0.25μ（20細分）

速度

/sec

重復定位精度

10μ

空回

4μ

丟步

3μ