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CGM-3F-PTFE混氣系統3路浮子

產品概述：

CGM-3F-PTFE混氣系統3路浮子可與管式爐一起放入小煙囪中，更安全。所有被氣體潤濕的部件都是由PTFE（例如閥、管、混合罐和流量計）制成。用于輸送腐蝕性氣體，如硫化氫（H2S）和硒化氫（H2Se），用于CVD處理。

浮動儀表：

• 三臺聚四氟乙烯材質防腐浮子流量計，流量100-1000ml/min（0.1-1.0l/min）
• 一個機械壓力表（混合罐）：0～0.05 MPa，（0.02 MPa/砂礫）

閥門：三個由聚四氟乙烯材料制成的針閥，用于控制前面板上的氣體出口

儲氣罐：

• 500毫升聚四氟乙烯氣罐
• 內置的氣體混合罐將來自三個入口通道的氣體混合并混合。

管件：

• 由聚四氟乙烯制成的管件，可接受1/4“管道（尼龍或不銹鋼）
• 三個氣體入口，每個通道有一個獨立的氣體流量計。
• 包括20'長1/4“PTFE管，可立即使用

尺寸：

• 緊湊型尺寸：340Lx300DX180H，mm（13.4“x12”x7“）。
• 凈重：16磅

航運：

• 裝運尺寸：待定
• 裝運重量：50磅

氧氣檢測：氧傳感器可用于監測用于防止或減少氧化的CVD系統中的氣體（ES）的氧含量。

注：

• 如果您的CVD處理涉及腐蝕性氣體，如H2S，請考慮在您的管式爐上使用聚四氟乙烯法蘭
• 另外，請選擇耐腐蝕的干式真空泵，而不是油真空泵