掃描透射探測器在不同角度散射的透射電子反映樣品的不同信息，可獲得以下信號：

• 明場像（BF）通常代表薄片樣品的布拉格衍射取向和質厚襯度
• 暗場像（DF）包含部分取向襯度和輕元素的成分襯度
• 高角度暗場像（HADF）包含多的是成分襯度 散射角取決于材料、薄片的厚度和電子束能量。

掃描透射探測器散射角取決于材料、薄片的厚度和電子束能量。
 
應用：STEM 探測器用于研究生物樣品中的超微結構、半導體器件的失效分析和材料的表征。
 
TESCAN 開發了兩種類型的 STEM 探測器，都可以用于 SEM 或 FIB-SEM系統，對于 FIB-SEM 系統而言，它有助于制備高質量薄片樣品并進行原位分析，增強了儀器的分析能力。