近場掃描光學顯微鏡的基本構造
進行NSOM實驗，必須將點光源靠到樣品表面納米距離，然后點光源掃描樣品表面，再收集探測經過樣品表面的光學信號。我們使用經金屬涂層處理的帶孔洞椎形光纖作為NSOM探針。光經耦合進入探針，從亞光波長孔徑的探針*發(fā)出，NSOM的分辨率就是由孔徑的大小決定(*可以達到50納米)。點光源和樣品表面的距離通常通過正常的力反饋機制(與AFM相同)控制，因此可以進行接觸、敲擊和非接觸模式的NSOM實驗。針對不同的材料和實驗，通常有四種NSOM操作模式：
＊ 透射模式成像——樣品經過探針照明，光通過樣品并與樣品相互作用后被收集探測；
＊ 反射模式成像——樣品經過探針照明，光從樣品表面反射并被收集探測；
＊ 收集模式成像——樣品經遠場光源照明(從上或下面均可)，探針將光信號從樣品表面收集；
＊ 照明收集模式成像——用同一根探針同時進行照明和收集探測反射光；
收集的光可通過多種探測器探測，如APD(Avalanche Photo Diode)、PMT(Photomultiplier Tube)、InGaAs探測器、CCD或通過光譜儀探測，通過探測器得到的信號經過數據處理得到樣品材料的NSOM圖像。
儀器特點
1、支持探針+樣品掃描，這對于波導材料&光子結構的收集模式NSOM和拉曼增強都有極大的幫助；
2、擁有zui棒的反射模式NSOM，*的硬件設計確保系統進行反射模式實驗時擁有與透射模式一樣的收集效率(而一般來說在相同的實驗條件下，反射模式效率比透射模式低三個量級)；
3、可以使用所有種類的NSOM探針，包括我們*的懸臂梁玻璃探針、直光纖探針、帶孔洞的懸臂硅探針、SERS探針、化學傳感Sol-gel探針等…；
4、我們的玻璃探針種類很多，包括NSOM探針、AFM探針、深溝探針、中空AFM探針、拉曼增強探針、離子敏感探針、玻璃絕緣納米金屬絲探針、納米電極、納米鑷子、熱探針(納米加熱)等等…；
5、可以進行非接觸NSOM實驗(采用帶孔洞的懸臂硅探針無法做到)；
6、針對液體生物材料NSOM成像擁有更強的信號(信號強三個量級)；
7、XYZ向大范圍的掃描尤其是100微米深的Z向掃描范圍，對于大尺寸納米粒子、粗糙的表面SPM實驗及共聚焦集成都是必須的；
8、*的深溝探針及Flat scan™掃描器可用于帶深溝的MEMs和半導體器件掃描；
9、*的熱傳導模式成像，支持接觸模式、非接觸模式熱成像，100納米分辨率起；
10、采用的FPNTM技術，進行氣態(tài)或液態(tài)材料(蛋白質、氯氣等類似材料)納米加工；
11、*的雙探針SPM&NSOM系統；
12、可與微拉曼光譜、SEM、FIB、光學顯微鏡實時在線聯用；
13、可以升級進行條件下的NSOM或AFM工作……
Multi-view系列產品規(guī)格
| | 操作模式 |
| 近場掃描光學顯微鏡(NSOM) | 透射模式，反射模式，收集模式，照明模式 |
| 原子力顯微鏡(AFM) | 敲擊模式，接觸模式(選配)，所有探針或樣品掃描的AFM操作模式 |
| 微分干涉對比(DIC) | 反射和透射 |
| 折射率成像(Refractive-Index Profiling) | 反射和透射 |
| 在線遠場共聚焦(和拉曼及熒光光譜成像) | 反射和透射，針對選擇性拉曼散射超薄膜的探針增強拉曼散射 |
| 熱傳導及擴展電阻成像 | 接觸模式，敲擊模式，音叉反饋模式(無反饋激光引入干擾信號,選配)
熱探針可作為納米加熱器使用，納米熱分析、納米相轉變等應用 |
| | SPM掃描頭規(guī)格 |
| 樣品掃描器 | 壓電材料制薄片掃描器 (3D Flat Scanner™) 厚度為7毫米 |
| SPM掃描范圍 | 樣品掃描，zui大100 microns (XYZ) |
| 掃描分辨率 | < 0.005 nm (Z)
< 0.015 nm (XY)
< 0.002 nm (XY) 低電壓模式 |
| 粗調定位 | 范圍：6毫米 |
| 反饋機制 | 懸臂梁光束反彈反饋，音叉反饋(選配) |
| 樣品幾何要求 | 樣品尺寸：標準配置下,直徑zui大至16毫米
正置顯微鏡下使用,直徑zui大至34毫米 特殊樣品形狀：如豎直樣品進行邊緣成像等 |
| 探針 | 各種針尖外露的玻璃探針，各種常規(guī)懸臂梁硅探針均可使用 |
| | 成像分辨率 |
遠場 | 受光衍射幾何限制 |
光學 | 500納米 |
共聚焦 | 200納米 |
近場掃描光學 | 100納米，條件下可達到50納米(由探針孔徑決定) |
形貌 | Z向噪聲0.05納米 rms.
XY橫向分辨率：由針尖直徑和樣品的卷積決定 |
熱成像 | 100納米起，溫度靈敏度0.01ºC，300 ºC或更高(由樣品決定) |
電阻成像 | 25納米起 |
 |  |
正在對MEMs器件進行AFM選擇性掃描的光學
顯微鏡視野(探針及壓電陶瓷沒有擋住光軸) | 雙3D Flat-Scanner™支持探針+樣品掃描 |
 |  |
環(huán)境控制腔可以控制溫度、氣氛、濕度
及其他環(huán)境指標 | Cryo view超低溫高真空腔體
(10K起連續(xù)升溫，10-5托真空) |
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