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ULVAC 隔膜式干真空泵膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。泵體結構采用無油環境設計、因此維護簡單。根據您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/...

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ULVAC 隔膜式干真空泵膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。泵體結構采用無油環境設計，維護簡單。“Model:DAP“是我公司產品Model中最小型的膜片...

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ULVAC 渦旋式干式真空泵結構緊湊，排氣量大。干式真空泵的最高壓力水平。內置自動復位型熱保護器（單相用）安全設計。通過空氣沖洗抑制水分凝結。

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ULVAC 渦旋式干式真空泵?雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。?可在大氣壓下實現操作運行。?可實現高極限真空。?低振動低噪音。?維護周期可通過計時表...

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ULVAC 渦旋式干式真空泵通過固定渦旋壁(固定渦輪)與對面渦旋壁(從動渦輪)的偏心運動,進行排氣的真空泵。

ULVAC 多級羅茨型干式真空泵大排氣量、小型尺寸。不會發生真空油的返流和油霧。無摩擦部分、長壽命。

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ULVAC 空冷式多級羅茨型干式真空泵用于排出空氣，氮氣，氬氣等惰性氣體的干泵用于排出空氣，氮氣，氬氣等惰性氣體的干泵濺射設備等的loading/unloadi...

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ULVAC 空冷式多級羅茨型干式真空泵通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。