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主要特點(diǎn)

• 通過(guò)控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時(shí)間。
• 時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。
  
• 設(shè)有一個(gè)三通閥，可精確控制進(jìn)氣流量，以及大氣流清洗腔體。
• 選用大功率色射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)。

參數(shù)

• 電源：AC220V  50/60Hz
• 輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W
• 真空泵功率：<500W
• 總功率：<600W 
• 射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié)
• 等離子腔體：高純石英腔體，Φ160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封，法蘭上設(shè)有Φ45mm 的觀察窗
• 真空泵：24L/min，直連式雙旋真空泵
• 極限真空度：50mtorr
• 通入氣體：可通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定）

等離子清洗機(jī)及刻蝕的方法

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產(chǎn)品規(guī)格

• 尺寸：400mm×300mm×300mm
• 重量：10.2kg

可選配件

• 2″-6″石英舟（盛放基片）
• 2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)