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輸入功率 

 AC 110V , 50/60 Hz, < 200W 

輸出頻率

 13.56 MHz

功率

• 低檔716V DC 10 mA DC 7.2 W 
• 中檔720V DC 15 mA DC 10.5W 
• 高檔740V DC 40 mA DC 30 W 

等離子腔體 

尺寸：6" dia x 6.5" l 石英腔體

真空泵和閥

• 儀器中包括有一雙極旋片泵，2XZ-2，抽氣速率為2L/s, 
• 泵上安裝有一個不銹鋼針閥，其接口為寶塔嘴接頭

通入的氣體 

腔體中可以通入多種氣體，如N2, Ar, Air ，也可以通入多種混合氣體，以滿足實驗需要 ，不可以通入可燃性氣體進入等離子腔體中

可選配件

• 如果基片的直徑為2"和4"，可以選購石英架，每個石英架上可以放25片
• 數字式真空顯示計，可以精確顯示石英腔體內的真空度

可選真空計

（點擊圖片查看詳細資料）

• 可選本公司生產研發的電阻真空計
• 此款真空計是以Pirani電阻規在不同真空環境下體現的熱傳導特性為原理而研發的一款低真空測量儀器，特別適應于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環境的真空度測量。
    

外型尺寸

11" H x 18" W x 9" D 

細節圖

操作視頻

 等離子清洗機（點擊查看）

質保期

一年質保  ( 不包括石英腔體和密封圈) 

質量認證

  CE Certified