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《固態電路雜志》近日發表了南京理工大學蘇巖團隊關于微電子機械系統(MEMS)的研究成果。該成果大大提高傳感器的穩定性(精度)，其性能達到已知zui高水平。
慣性傳感器是檢測和測量加速度、傾斜、沖擊、振動、旋轉和多自由度(DoF)運動的傳感器。采用MEMS工藝制造的慣性傳感器通常只有幾毫米甚至更小;而集成電路(ASIC)則可以將成千上萬的晶體管電路集成于一塊芯片，同樣具有尺寸小的特點。兩者都可大批量生產，成本極低。
因此，集成電路技術和MEMS技術將極大地降低慣性傳感器的成本、體積和功耗，使得該類型傳感器可廣泛應用于消費電子類產品中。此外采用高性能ASIC后，還可降低環境因素及寄生參數對傳感器性能的影響，大幅提升MEMS慣性傳感器的精度，使該類型傳感器可以在高精度導航制導領域得到應用。諧振式MEMS加速度計則實現了機械敏感結構與ASIC的對接，該傳感器實現了小于1微克的零偏不穩定性，為已報道的zui高性能。
該傳感器適用于船舶、潛艇等高精度導航系統中，也可應用于無人機導航、可穿戴個人室內導航設備以及汽車穩定系統、安全氣囊、游戲手柄、智能手機中。
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