W5系列真空泵主要技術參數(shù)：
| 泵型號 | WL50 | WL100 | W3 | W4－1 | W5－1 | ||||
| 抽氣速率L/S | 50 | 100 | 50 | 100 | 200 | ||||
| 極限壓力kpa（Torr） | 1.3（10） | 2.6（20） | 1.3（10） | 2.6（20） | 2.6（20） | ||||
| 進、排氣管徑mm（in） |
| 80（3"） | 50（2" | 80（3"） | 125（5"） | ||||
| 進、出水管徑（in） | ½" | ½" | ½" | ¾" | ¾" | ||||
| 活塞直徑×行程mm | 250×150 | 300×150 | 250×150 | 350×200 | 455×250 | ||||
| 轉速r/min | 350 | 320 | 300 | 535 | 430 | ||||
| 電機 | 型號 | Y132M1-6 | Y160M-6 | Y132S-4 | Y160L-6 | Y200L2-6 | |||
| 功率KW | 4 | 7.5 | 5.5 | 11 | 22 | ||||
| 泵溫升°C | 泵溫升<30°C，排氣閥室<90°C，冷卻水溫差<5°C | ||||||||
| 噪音dB | <75 | ||||||||
| 外形尺寸：長×寬×高mm | 1050×520×1190 | 1300×610×1380 | 1402×615×640 | 1773×800×891 | 2328×1015×1162 | ||||
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