基于海洋光學(xué)HR2000+高分辨率光譜儀的模塊化光譜系統(tǒng)被用于監(jiān)控將不同氣體導(dǎo)入等離子體反應(yīng)室后氬等離子體發(fā)射的變化。 在密閉的反應(yīng)室內(nèi)，用配備光纖和余弦校正器的光譜儀進(jìn)行測(cè)量，透過(guò)反應(yīng)室上的小視窗進(jìn)行觀察。 測(cè)量結(jié)果指出模塊化光譜組件能實(shí)時(shí)獲得等離子體反應(yīng)室中的等離子體發(fā)射光譜。 根據(jù)這些發(fā)射光譜得到的等離子體特征可用于監(jiān)控基于等離子體的過(guò)程。
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