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初步了解無塵烘烤箱

閱讀:1408發布時間:2020-7-24

  Class100 潔凈烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、TP、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
 
  產品特點:
 
  1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
 
  2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
 
  3.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)
 
  4.強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到*溫度控制精度。
 
  設備簡介:
 
  1、箱體結構:
 
  烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統組裝而成,結構合理,外觀美觀大方;
 
  箱體材料:外箱采用SUS304 ,1.5mm之拉絲不銹鋼,并經堿性蘇打水清潔,可防止微塵;
 
  內膽材料:采用優質SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE;
 
  中桶材料:采用優質SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。
 
  2、溫控系統:
 
  采用日本“神港”溫度控制器,控制器LED數字顯示及設定、PID自 動演算、薄膜設定,準確度±0.3%FS。
 
  訊號來源:采用PT100熱電阻±0.5%。
 
  輸出被控制組件:SSR無接點訊號輸出。
 
  3、完善的安全保護措施:
 
  漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、超溫防止保護裝置、電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、機臺異常蜂鳴器警示 逆向防止器、門面安全開關
 
  4、選購設備:
 
  可程式溫控器        無紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架
 

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