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Filmetrics R50 是KLA電阻測(cè)試家族的最新產(chǎn)品。R50電阻率測(cè)試儀是KLA超45年電阻測(cè)量技術(shù)地位之作。電阻測(cè)量和監(jiān)控對(duì)于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都至關(guān)重要，從半導(dǎo)體制造到可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品。R50在金屬膜均勻性分布、離子摻雜和注入表征、薄膜厚度和電阻率分布、以及非接觸膜厚等量測(cè)均進(jìn)行了優(yōu)化加強(qiáng)。

KLA薄膜電阻測(cè)量技術(shù)電阻率測(cè)試儀包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。

Filmetrics的R50系列方塊電阻測(cè)量?jī)x器可測(cè)量沉積在各種基材上的導(dǎo)電片和薄膜，跨越10個(gè)數(shù)量級(jí)范圍電阻率，包括：

半導(dǎo)體晶圓基板

玻璃基板

塑料（柔性）基材

PCB圖案特征

太陽(yáng)能電池

平板顯示層和圖案化特征

金屬箔

二、電阻率測(cè)試儀主要功能

l 技術(shù)規(guī)格

測(cè)量范圍：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

測(cè)量精度： +/- 1%；

重復(fù)度：小于 0.2%；

樣品圖中無(wú)*的測(cè)量點(diǎn)位，自定義測(cè)量Recipe，可線性、矩形、

極坐標(biāo)以及自定義等。

Model	Description
R50-4PP	四探針測(cè)試自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-100mm*100mm 可實(shí)現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping測(cè)量可放置直徑200mm晶圓樣品
R50-EC	非接觸渦流測(cè)試自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-100mm*100mm 可實(shí)現(xiàn)直接100mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測(cè)量可放置直徑200mm晶圓樣品
R50-200-4PP	四探針測(cè)試自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-200mm*200mm 可實(shí)現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping測(cè)量
R50-200-EC	非接觸渦流測(cè)試自動(dòng)XY移動(dòng)臺(tái)-200mm*200mm 可實(shí)現(xiàn)直接200mm晶圓方塊電阻mapping非接觸測(cè)量

三、應(yīng)用

支持廣泛的測(cè)量，包括但不限于以下各項(xiàng)：

金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導(dǎo)率、摻雜濃度等。

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