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Zeta-20-三維光學輪廓儀
  • Zeta-20-三維光學輪廓儀
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-05-05 21:00:08

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非接觸式優點就是測量裝置探測部分不與被測表面的直接接觸,保護了測量裝置,同時避免了與測量裝置直接接觸引入的測量誤差。
Zeta-20三維光學輪廓儀集成了六種光學計量技術。 ZDot 測量模式同時采集高分辨率 3D 掃描和真彩色無限對焦圖像。其他測量技術包括白光干涉法、Nomarski 干涉對比顯微鏡和剪切干涉法。 Zeta-20 也可用于樣品審查或自動缺陷檢測。

Zeta-20 三維光學輪廓儀的典型應用:

  MEMS(微機電系統)

      光伏太陽能電池

      微流體設備

      數據存儲磁盤倒邊

      激光打孔

      半導體晶圓級芯片級封裝

應用.png


多功能光學測試模組

 *ZDot點陣三維成像技術與強大的算法相結合,輕易獲得各種樣品表面信息生成高分辨率 3D 數據。

 ZIC 干涉反襯成像技術,實現納米級粗糙度表面的成像及分析。

 ZSI 白光差分干涉技術,垂直方向分辨率可達埃級。

 ZX5 白光干涉技術,大視場下納米級高度的理想測量技術。

 ZFT 反射光譜膜厚分析技術,集成寬頻反射光譜分析儀,可測量 薄膜材料的厚度、折射率和反射率。


Zeta-20三維光學輪廓儀優點:

多功能——能夠在任何表面上進行多次測量

特定應用軟件和算法

對振動和樣品傾斜不敏感

高光通量設計——實現其他系統無法進行的測量

易于使用——用戶可以快速啟動和運行

混合反射率表面測量:在太陽能電池表面氮化物涂層上的銀。銀反射率大于90%,氮化物反射率小于1%,兩者反射率差非常大,Zeta-20高動態范圍可輕松測量混合反射率表面。

微信截圖_20220309152905.png

在微機電系統上進行亞微米級臺階高度測量:可實現大面積高分辨率測量。

分析防偽透明特征:可在混合、不平整的表面上進行準確的 3D 輪廓分析(圖中是人民幣20元防偽標志)


光刻膠和金屬的臺階測量:ZDot 的多模式*地實現了金屬臺階和薄膜厚度的同時測量。


激光切割:測量 LED 設備上激光切割的深度。在非常低的對比度,高粗糙度的表面測量。 測量空腔邊緣的材料堆積,以確定它是否已流出劃線區域并流入 LED 器件的有源 區域。








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