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Novascan紫外臭氧清洗儀
PSD-UV系列

PSD系列產品是數字控制的臺式清洗設備，可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。設備配備一個帶反射罩的高強度UV格柵燈盤, 和可調節高度的樣品臺，用于優化樣品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系統具有進出氣接口。該系統由一個方便的預設置控制器控制，非常容易操作。

Novascan紫外臭氧清洗儀

PSD-UV系列

PSD系列產品是數字控制的臺式清洗設備，可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。設備配備一個帶反射罩的高強度UV格柵燈盤, 和可調節高度的樣品臺，用于優化樣品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系統具有進出氣接口。該系統由一個方便的預設置控制器控制，非常容易操作。

•預設置的數字控制器
•方便簡單的兩按鍵操作

•自動工作：15.30.60.120分鐘
•工作進程可以在任何時候手工終止
•系統不能提供加熱盤選項
•經濟實用的設計使得PSD系列成為受歡迎的選擇

•容易安裝和使用

PSD Pro系列

PSDP 系列產品是研究級的紫外臭氧清洗系統，具有良好的靈活性，能滿足有機分子去除和其他眾多的應用。可以直接在空氣中操作，或是通過其中一個進氣口通入氧氣來增加臭氧產生。可編程數字控制器可以控制系統進程，來確保精確時間和優化清洗參數。

•可編程數字控制器
•數字顯示倒計時
•輕松升級到熱盤選項
•可執行暫停和終止指令
•內部存儲器用于記錄之前的參數設置
—— 一個強大的系統，提供了增強的進程控制！

PSDP-UVT Pro系列

PSDP-UVT Pro系列帶有PID控制的樣品加熱階段，可以應用于電子、半導體、光學和科研領域。水銀蒸汽燈產生紫外線和臭氧，能夠自動清潔硅、氮化硅、玻璃、金屬、陶瓷和其他材料。PSDP-UVT系列產品同樣可以用來UV治療、UV圖形化、塑造AFM探針形狀以及臭氧刻蝕。

PSDP-UVT Pro系列產品附帶的加熱板可以加速很多應用的清潔過程。

產品特點：

•數字控制加熱階段到150攝氏度

•PSDP-UVT能移除有機污染物

•紫外燈等產生的紫外光波長范圍為185nm到254nm

•產生臭氧和分子激發

•在周圍空氣或氧氣常壓下操作

•多種氣體端口用來進氣

一般特性：

電源：100.120.220.240VAC.50-60周期。
樣品高度：所有系統都配置可調節高度的樣品臺，調節燈與樣品之間的間距，并帶位置鎖定，標準樣品臺尺寸為UV格柵燈大小或更大。
UV格柵燈：產生臭氧的低壓汞格柵燈，帶反射罩。燈管壽命大約為5000小時。
UV反射罩：UV反射罩一般比UV格柵燈大一英寸。比如4×4英寸燈管反射罩尺寸是5×5英寸。
樣品放置：打開清洗腔上蓋，露出樣品臺，允許360度裝入樣品。
安全裝置：當清洗腔打開時，系統安全鎖會關掉UV燈。
進出氣口：標準配置2個氣接口，可選更多。（PSD-UV3為選項）
真空反應腔：選項客戶化定制，鋁或石英材料。

臭氧中和器：中和器和泵用于臭氧排除。（PSD和PSDP選項）

PSD系列產品通過產生185nm和254nm高強度UV光分解有機分子（污染物）。185nm的光可以將氧分子O2轉變成活性的O3臭氧分子。254nm的光同時激發表面的有機分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時間短并且同時也被254nm光分解，樣品臺可以調節樣品到燈管的距離來優化性能。PSD和PSDP分解有機污染物，然后形成CO2和H2O蒸氣，同時也將臭氧分子轉變成氧分子。

產品型號尺寸：

產品應用：

基體材料：硅、砷化鎵、玻璃、石英、云母、藍寶石、金屬、陶瓷、聚合物、光阻

應用范圍：

•AFM探針清洗/尖削

•半導體表面氧化和準備

•光學鏡片清洗

•改善表面潤濕性能

•提高油漆/涂料/膠水/粘合劑的附著力

•石英和陶瓷表面清洗

•薄膜沉積的準備

•紫外固化

•表面圖形化

•臭氧腐蝕

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