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真空技術的新高度！更智能，更靈活，更高效。

通過改進經多年實際驗證并優化的軸承技術，我們將提供給您與其它競爭產品相比，更好的產品性能以及更長的服務壽命。在這一系列產品中，凈化氣體連接閥保護了泵中的軸承免受微粒物或者氧化氣體的影響。這不僅使得HiPace產品系列緊湊，同時也讓該系列產品極其的符合工業應用環境，換而言之，其具有*的綜合表現。結合精確的傳感技術，HiPace系列渦輪分子泵的安全性能達到了市場Z高水平。

分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 產品優點：
1、四種抽速，抽速為自1,000 至 2,000 l/s
2、對于分子量較小氣體以及分子量較大氣體的高抽速
3、適用各種工藝如刻蝕, 濺鍍, 要求，耐粉塵
4、高氣流量，即使對于分子量較大的氣體
5、集成的 TC 1200 驅動單元，可直接連接一般電源
6、支援腐蝕氣體
7、帶節氣閥門的集成密封氣體系統
8、標準接口界面：RS-485 以及遠程控制；Profibus 或者 DeviceNet 可供選擇
9、符合 IP 54 防護標準，適用于工業應用環境
10、符合 Semi S2 規范
11、符合 UL, CSA 以及 TÜV 認證
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 適用領域：
1. 玻璃及刀具鍍膜 2. 真空爐 3. 質譜分析 4. 研發及化工行業 5.半導體生產
產品規格：

型號

連接尺寸 DN

抽速 l/s

壓縮比

zui高啟動壓強mbar

冷卻方式

啟動時間

重量

進氣口

出氣口

氮氣N₂

氦氣He

氫氣H₂

氮氣N₂

氮氣N₂

min

kg

HiPace^TM1200

200

40

1,250

1,300

1,100

>10⁸

2

水冷

2.5

40

HiPace^TM1500

250

40

1,450

1,350

1,150

>10⁸

2

水冷

2.5

41

HiPace^TM1800

200

40

1,450

1,650

1,700

>10⁸

1.8

水冷

4

34

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提示

型號	連接尺寸 DN		抽速 l/s			壓縮比	zui高啟動壓強mbar	冷卻方式	啟動時間	重量
型號	進氣口	出氣口	氮氣N₂	氦氣He	氫氣H₂	氮氣N₂	氮氣N₂		min	kg
HiPace^TM1200	200	40	1,250	1,300	1,100	>10⁸	2	水冷	2.5	40
HiPace^TM1500	250	40	1,450	1,350	1,150	>10⁸	2	水冷	2.5	41
HiPace^TM1800	200	40	1,450	1,650	1,700	>10⁸	1.8	水冷	4	34

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