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Transpector® SPS 殘余氣體分析儀

INFICON Transpector® 單壓取樣 (SPS) 殘余氣體分析儀為目標(biāo)高壓過程提供上佳半導(dǎo)體晶圓和顯示屏面板保護(hù)。憑借適合單壓應(yīng)用的zui敏感空氣泄漏和過程污染檢測，Transpector SPS 可蕞大程度減少晶圓和面板報廢。它具有業(yè)內(nèi)比較早的檢測限值和測量速度，確保晶圓和面板產(chǎn)品的質(zhì)量和數(shù)量。Transpector SPS 提供可靠的過程監(jiān)控，確保實現(xiàn)穩(wěn)定的高壓過程，進(jìn)而大程度提高過程能力和產(chǎn)量。該儀器融合了簡單且高成本效益的入口系統(tǒng)與經(jīng)實踐驗證的離子源和泵組，以提供低風(fēng)險、多回報的氣體分析解決方案。Transpector SPS 是一種經(jīng)過驗證的解決方案，適用于真空電弧重熔 (VAR) 等冶金和熱處理應(yīng)用，且是一般真空和工業(yè)應(yīng)用的理想之選。Transpector SPS 可根據(jù)具體應(yīng)用和預(yù)算進(jìn)行配置和定制。 針對從 1E-4 Torr 到大氣的取樣過程壓強，均可選用標(biāo)準(zhǔn)孔板、劈刀和旁路線組合。耐腐蝕入口、離子源和泵組的設(shè)計可確保在蝕刻、CVD、ALD 和其他腐蝕性氣體過程中的耐受性。