2179是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，它帶有一個關閉閥，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量。配上合適的壓力傳感器，它還可以用作壓力控制器。
2179是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，它帶有一個關閉閥，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量。配上合適的壓力傳感器，它還可以用作壓力控制器。
常閉的氣密關閉閥門正向關閉時的泄漏量僅為4 x 10-9 scc/sec（He）。它具有數字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1％和讀數的1％。2179具有很小的功耗：在常規直流±15V供電工作時，單元電流僅有100mA（在zui初開機階段為200mA）。
例：型號2179A00411CR16VXX 采購序列號
校準氣體（SEMI氣體編號）*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
校準流量SCCM－zui大20000 （相當氮氣）
10 11C
20 21C
50 51C
100 12C
200 22C
500 52C
1000 13C
2000 23C
5000 53C
10000 14C
20000 24C
裝配件
標配：（兼容）SwagelokR 4VCRR 凸接頭 R
選配：（兼容）SwagelokR 4VCOR 凸接頭 G
選配：（兼容）SwagelokR 0.25英寸管道 S
長度適配器 w/ 4 VCR 配件** L
長度適配器w/ 1/4" Swagelok 配件*** W
閥門
常閉 1
型號 2179A（續）
連接器
模擬型：
9針D型接口 A
15針D型接口 B
15針邊緣卡接口 C
單元設備15針D型接口 N
Millpore15針D型接口 T
數字型：
RS-485 5
DeviceNet 6
密封
標配:VitonR V
選配:NeopreneR N
選配:Buna N B
選配:KalrezR K
固化軟件版本（僅對DeviceNetTM）
除非特別說明，MKS將發運訂貨時的固化軟件版本 XX
用于2179A的電纜線
CB147-12-10用來將2179 9針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 246, 247, 167, 647
CB259-5-10用來將2179 15針D型接口連接至246, 247,
CB147-1-10用來將2179 15針D型接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647
CB259-10-10用來將2179 20針邊緣卡接口連接至246, 247
CB147-7-10用來將2179 20針邊緣卡接口連接至PR4000, 146, 186, 167, 647
