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英福康檢漏知識小課堂——檢漏方法大盤點,孰優孰劣一較高低

時間:2017/11/1閱讀:3830
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2017-11-01 INFICON英福康

工業中常見的泄漏檢測方法有

 

• 水檢測試法

• 壓降/壓差測試法

• 氫氣測試法 

• 氦氣泄漏測試

 

水檢測試法:

該方法是將充滿氣的部件放入水中,看氣泡出來。

 

在泄漏0.06sccm下,每秒在理想的情況下能夠產生一個泡。現實當中,氣泡不能夠很簡單的離開元件表面,所以這種檢漏方法一般只能到達0.6sccm.限制了該方法的工業應用。

 

壓降/壓差測試法:

工業中目前普遍采用的是壓力衰減模式,測試工件內充入規定的測試壓力的空氣或者氮氣,經過一段時間的穩定,測試壓力的下降,根據產品的容積計算出泄漏流量,計算公式如下:

壓力泄漏測試法,有以下因素干擾:

√ 溫度問題

√ 不適用于柔性測試樣本

 

常壓腔氦或氫累積泄漏檢測法:

方法是在非真空狀態下通過簡單累積室進行的。與空氣測試不同,INFICON 累積法的測試結果不受溫度或濕度的影響,產生極其可靠的測試結果,具有很高的可重復性。

√ 常壓下的檢漏技術

√ 簡易、低成本累積腔體

√ 檢漏精度到達10-5mbar.l/s

 

真空箱氦泄漏檢測法:

產品工件充入對應的檢測壓力,外部腔體抽空,泄漏出來的氦氣被檢漏儀抓取,檢測出泄漏量。

氦或氫吸槍泄漏檢測法:

使用示蹤氣體的方法:吸槍法

• 總是由內至外

• 遠距離高速度的高吸氣氣體流量

• 適用于定位漏率點

• 或已知道漏率大概位置

 

各種方法檢測精度比較

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