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產品關鍵詞：單晶硅片測厚儀、單晶硅片厚度檢測儀器、單晶硅片厚度測量儀器、單晶硅片厚度測試儀

Labthink蘭光的CHY-CA改款型測厚儀，可用于單晶硅片厚度的檢測，測試分辯率高達0.1微米，*單晶硅片對厚度高精度測試的要求；同時測試幅面寬度可以達到400mm，*單晶硅片整個幅面厚度測試的要求。CHY-CA改款型測厚儀除了具備高精度、率等特點外，還采用測量樣品自動前進驅動系統，大大提高了測試效率，充分滿足用戶連續測試的要求，并配有專業軟件支持，操作方便、人機交互友好。

1、結構組成 
   CHY-CA改款型測厚儀主要由控制系統、測量系統、打印輸出系統三部分組成。測量系統對薄膜進行測量，并輸出相應電信號；控制系統用以參數的設定、修改、傳輸信號的處理、測量結果的顯示等；打印輸出系統的功能是統計結果的輸出，打印試驗結果。