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六維并聯微動平臺P-SLL采用德國六自由度并聯機器人hexapod提供六軸并聯動力學微動平臺功能,具有更緊湊結構,更高剛性,更低的運動質量和更高的響應速度。
六維并聯微動平臺P-SLL采用模塊化設計,其尺寸和強度可以適應不斷變化的要求,從幾厘米到幾乎一米的行程都可提供,并具有納米分辨率。
六維并聯微動平臺P-SLL規格參數分辨率<1nm
大負載：1000g (10N)
大真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根據用戶要求）
大垂直載荷Fv:10N
大水平力Fh:5N
定位器尺寸:> 250 x 80 x 67 mm3
重量:≈ 300 ~2000 g
行程范圍：
x- 20 ~ 1200 mm
y -45~119 mm
z -≤ 16 mm
Θx：≤42 °
Θy：≤ 33°
Θz：≤42 °
帶納米傳感器-S閉環
小增量（x，y，z）：1nm
小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad
重復精度(xyz全行程）：±200 nm
重復精度(Θxyz全行程）：±10urad
重復精度（1mm行程@xyz)：±15 nm
材料和真空可選項目
納米級距離編碼傳感器
非磁性材料（NM）
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
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