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自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)是為晶圓電阻率繪圖mapping設計的工業(yè)級自動四點探針電阻率測試系統(tǒng)。采用成熟的行業(yè)標準，提供快速、準確和可靠的晶圓樣品電阻率分布測量。
自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)四點探針通過電流通過四點探針的外部點并測量內(nèi)部點的電壓來測量各層半導體晶片的平均電阻,可滿足100mm、150mm、200mm或300mm晶圓測試,自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)四點探頭設計為免維護且非常易于使用。該自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)有多種選擇，包括廣泛的熱測試、非標準材料的定制卡盤和幾乎任何應用定制的4點探針。
自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)具有自動化軟件,允許使用電阻率測繪mapping系統(tǒng)進行半自動化或全自動化測試。該軟件設計簡單但功能強大，允許用戶輕松設置幾乎任何類型晶圓結(jié)構(gòu)的自動測試程序。基于LabView的軟件具有邏輯結(jié)構(gòu)，可以方便地集成客戶自己的測試和測量設備。該軟件可以安裝在任何具有Windows XP或更高操作系統(tǒng)的計算機上。

自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)特色

用戶友好,快速而精確測量

軟件設計操作簡單，具有多種數(shù)據(jù)處理功能，可實現(xiàn)2D和3D電阻率mapping

適合大部分材料和結(jié)構(gòu)測試

適合電阻率范圍大,適合sheet resistance測量

適合溫度范圍-60℃到300℃

可選購1-，5-，9-，25-，49-,121-等多點探針測試型號，也可根據(jù)客戶要求訂制

可調(diào)真空樣品卡盤,適合樣品尺寸5mm~300mm

可定制真空或環(huán)境控制版本

自動四探針電阻率mapping測試系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)

適合樣品尺寸：5mm ~300mm

電阻測量范圍：1 mΩ/sq. ~  500MΩ/sq.

精度：0.3%

測量時間：5秒/點

XYZ分辨率：<1.5um

真空樣品夾盤：多區(qū)真空

夾盤平整度：+/-13um

夾盤擊穿電壓：500V

夾盤隔離度：>1GW

溫度范圍：-60℃~300℃

數(shù)據(jù)輸出：電阻率和電阻值，或者厚度