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213nm/205nm深紫外激光器是穩定型連續波DUV深紫外激光器,基于已有20多年歷史的深紫外DUV波長205nm-400nm連續波CW單頻波長轉換激光器技術。通過266nm激光器開發的非線性晶體和伺服鎖定技術能夠產生穩定且長壽命的連續激光發射。根據您的需要，孚光精儀公司可以提出各種波長的連續激光器。
213nm/205nm深紫外激光器特點
高可靠性非線性光學晶體
根據激光波長的不同，我們可以提出最合適的非線性波長轉換晶體。例如BBO晶體可以在266nm和1W輸出功率下提供超過3000小時的單點壽命。此外，晶體的微小劣化確保了長時間的穩定運動。
精密伺服鎖技術
高速、高精度音圈電機（VCM）伺服驅動器提供穩定的連續激光運動。
213nm/205nm深紫外激光器規格參數
| 型號 | Frequad-* | Frequad-W |
| 波長 | 400…205 nm | 213 nm |
| 輸出功率 | ** W | 10 mW |
| 線寬 | < 0.005 pm | < 0.005 pm |
| 消光比 | > 100:1 | > 100:1 |
| 光束質量 | TEM00 | TEM00 |
| 偏振 | 豎直, 線偏振 | Vertical, Linear |
| 供電要求 | AC 100-240V, 50/60Hz | AC 100-240V, 50/60Hz |
| 功耗 | < 340 W | < 300 W |
| 制冷 | ** | 空氣制冷 |
| 尺寸 | ** | 240 x 840 x 160 mm |
※表示可根據客戶要求訂制213nm/205nm深紫外激光器.
213nm/205nm深紫外激光器應用
半導體檢測
拉曼光譜
光致發光
磁盤母盤
光纖布拉格光柵
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