光譜橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器。由于測量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為一種吸引力的測量儀器。
光譜橢偏儀應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體、微電子、MEMS、通訊、數(shù)據(jù)存儲、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科學(xué)研究、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥。
光譜橢偏儀可測材料：半導(dǎo)體、介電材料、有機高分子聚合物、金屬氧化物、金屬鈍化膜、自組裝單分子層、多層膜物質(zhì)和石墨烯等等。
光譜橢偏儀構(gòu)造：在光譜橢偏儀的測量中使用不同的硬件配置，但每種配置都必須能產(chǎn)生已知偏振態(tài)的光束。測量由被測樣品反射后光的偏振態(tài)。這要求儀器能夠量化偏振態(tài)的變化量ρ。
有些儀器測量ρ是通過旋轉(zhuǎn)確定初始偏振光狀態(tài)的偏振。再利用第二個固定位置的偏振片來測得輸出光束的偏振態(tài)。另外一些儀器是固定起偏器和檢偏器，而在中間部分調(diào)制偏振光的狀態(tài)，如利用聲光晶體等，終得到輸出光束的偏振態(tài)。這些不同的配置的終結(jié)果都是測量作為波長和入射角復(fù)函數(shù)ρ。
在選則合適的橢偏儀的時候，光譜范圍和測量速度也是一個通常需要考慮的重要因素。可選的光譜范圍從深紫外的142nm到紅外的33microm。光譜范圍的選擇通常由應(yīng)用決定。不同的光譜范圍能夠提供關(guān)于材料的不同信息，合適的儀器必須和所要測量的光譜范圍匹配。
光譜橢偏儀產(chǎn)品特點：
1.更簡便快捷的樣品準直方法
2.軟件具備豐富的材料數(shù)據(jù)庫
3.連續(xù)波長的光源為用戶提供了更大的應(yīng)用空間
4.允許用戶自定義色散模型，更方便用戶研究新材料的光學(xué)性質(zhì)
5.全波長多角度同時數(shù)據(jù)擬合，EMA模型用戶多成分化合物和表面粗糙度分析
6.具有實驗數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能
7.光譜范圍寬達250 - 1100nm
8.光譜橢偏儀功能強大的光譜橢偏測量與分析軟件
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