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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司

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當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> EVG805-半自動系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))

[供應(yīng)]EVG805-半自動系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))

貨物所在地:上海上海市

更新時(shí)間:2025-04-09 21:00:07

有效期:2025年4月9日 -- 2025年10月9日

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EVG805-半自動系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī)) 用于剝離臨時(shí)鍵合和加工過的晶圓疊層,該疊層由器件晶圓,載體晶圓和中間臨時(shí)鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機(jī)械剝離。

EVG805-半自動系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))

應(yīng)用:薄晶圓解鍵合

一、簡介

EVG805是半自動系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī)),用于剝離臨時(shí)鍵合和加工過的晶圓疊層,該疊層由器件晶圓,載體晶圓和中間臨時(shí)鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機(jī)械剝離。可以將薄晶圓卸載到單個(gè)基板載體上,以在工具之間安全可靠地運(yùn)輸。

EVG805-半自動系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))

二、EVG805-解鍵合晶圓鍵合機(jī)特征

1.開放式膠粘劑平臺

2.解鍵合選項(xiàng):

熱滑解鍵合

解鍵合

機(jī)械解鍵合

3.程序控制系統(tǒng)

4.實(shí)時(shí)監(jiān)控和記錄所有相關(guān)過程參數(shù)

5.薄晶圓處理的*功能

6.多種卡盤設(shè)計(jì),可支撐大300 mm的晶圓/基板和載體

7.高形貌的晶圓處理

三、EVG805-解鍵合晶圓鍵合機(jī)技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸):晶片大300 mm、高達(dá)12英寸的薄膜

組態(tài):1個(gè)解鍵合模塊

四、選件

1.紫外線輔助解鍵合

2.高形貌的晶圓處理

3.不同基板尺寸的橋接能力

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