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技術指標
溫度(鉑傳感器) 范圍: -170℃/400℃, 準確度:±0.12%
升溫速率: 0-40℃/分
冷卻速率: 0-40℃/分
電極測量 范圍: 10^-15—2.10^-2 A
精度: 20mA范圍: ±0.1%
20pA范圍: ±1%
所加電壓 0—500V/mm, 準確度: ±0.15%
壓力傳感器 氦氣: 1100mbar
真空: 10-4—10mbar
樣品：顆粒，薄膜：從0.25到4mm 液體， 粉末：20毫克