上海人和科學(xué)儀器有限公司
通過密度和粘度在線監(jiān)測(cè)進(jìn)行半導(dǎo)體 CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）漿料質(zhì)量控制
檢測(cè)樣品：半導(dǎo)體CMP(化學(xué)機(jī)械拋光）漿料
檢測(cè)項(xiàng)目：粘度 密度
方案概述：表面的化學(xué)機(jī)械拋光 (CMP)是一種通過化學(xué)反應(yīng)去除表面材料的過程，也是半導(dǎo)體工業(yè)中用于制造集成電路和存儲(chǔ)盤的標(biāo)準(zhǔn)制造工藝。在拋光墊和晶片之間使用主要包含純水、化學(xué)試劑和不同拋光顆粒的CMP漿料。通過持續(xù)監(jiān)測(cè)CMP漿料的健康狀況，可以確保工藝性能，這有助于滿足下一代漿料更嚴(yán)格的純度和混合精度要求。此外，持續(xù)的粘度/密度優(yōu)化有助于降低 CMP 工藝和耗材的成本。
CMP漿料的粘度和密度在拋光操作中的重要性
漿料的粘度和密度用于評(píng)估顆粒在CMP漿料中的分散，因?yàn)轭w粒大小和粘度存在關(guān)聯(lián)。漿料的粘度取決于化學(xué)和機(jī)械成分。漿料應(yīng)具有窄且均勻的粒度分布和均勻的密度。密度變化表明漿料不均勻，這會(huì)影響拋光效果。團(tuán)聚和大顆粒可以通過攪拌機(jī)中的過濾器去除，但密度變化難以發(fā)現(xiàn)。比如，漿料顆粒符合規(guī)格并通過過濾器，經(jīng)濃縮后運(yùn)輸，然后在晶圓廠用水或過氧化氫稀釋。由于混合不充分，漿料桶底部的密度可能更高，這會(huì)導(dǎo)致缺陷。CMP的進(jìn)料質(zhì)量取決于工廠操作以及現(xiàn)場(chǎng)混合和存儲(chǔ)，在線監(jiān)測(cè)漿料密度可確保均勻的混合物輸送到拋光墊。
LISICO用于半導(dǎo)體 CMP 漿料質(zhì)量控制的解決方案
在線粘度/密度測(cè)量和控制，對(duì)于在制造過程中控制粘度/密度并確保關(guān)鍵特性*符合多批次的要求至關(guān)重要，而不必依賴離線測(cè)量方法和取樣技術(shù)。LISICO為過程控制和優(yōu)化提供以下解決方案。
在線粘度和密度計(jì)
1. 在線粘度測(cè)量： LISICO SRV在線粘度計(jì)能夠?qū)崟r(shí)檢測(cè)任何工藝流程中的粘度變化。
2. 在線粘度/密度測(cè)量： LISICO SRD在線粘度/密度計(jì)是一種可同時(shí)測(cè)量密度和粘度的在線儀器，它具有類似于SRV的操作能力以及精確的密度測(cè)量。
……
相關(guān)產(chǎn)品清單
溫馨提示：
1.本網(wǎng)展示的解決方案僅供學(xué)習(xí)、研究之用，版權(quán)歸屬此方案的提供者，未經(jīng)授權(quán)，不得轉(zhuǎn)載、發(fā)行、匯編或網(wǎng)絡(luò)傳播等。
2.如您有上述相關(guān)需求，請(qǐng)務(wù)必先獲得方案提供者的授權(quán)。
3.此解決方案為企業(yè)發(fā)布，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由上傳企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
最新解決方案
- GCMS (NCI)法測(cè)定電子電氣產(chǎn)品中的中鏈氯化石蠟
- 自動(dòng)電位滴定儀CT-1Plus測(cè)定混酸含量——硝酸氫氟酸
- 島津電子探針專有特色晶體測(cè)試電子電氣材料中的鹵素溴
- 用在線硼分析技術(shù)來(lái)優(yōu)化離子交換工藝監(jiān)測(cè)
- 電路板恒溫恒濕試驗(yàn)箱檢測(cè)方法
- 傳感器高溫高壓老化試驗(yàn)
- Py-Screener系統(tǒng)篩查分析電子電氣產(chǎn)品中7種鄰苯二甲酸酯和20種溴代阻燃劑
- 光刻膠關(guān)鍵物質(zhì)-光酸劑-CAD 檢測(cè)器應(yīng)用簡(jiǎn)報(bào)
- 光刻膠關(guān)鍵物質(zhì)-光酸劑-CAD 檢測(cè)器應(yīng)用簡(jiǎn)報(bào) 三氟丁基磺酸根
- 精密鼓風(fēng)干燥箱在手機(jī)主板缺陷測(cè)試實(shí)踐
該企業(yè)的其他方案
- TRILOS超高壓納米均質(zhì)機(jī)在電子漿料分散處理中的優(yōu)勢(shì)
- TRILOS漿料過濾機(jī)在電子油墨領(lǐng)域的應(yīng)用
- 破解粉體潤(rùn)濕性表征難題：核磁弛豫新方案
- 超高壓納米均質(zhì)機(jī)在熱管理陶瓷領(lǐng)域的應(yīng)用
- 精準(zhǔn) “把脈” 中藥口服制劑穩(wěn)定性 —— LISICO分散穩(wěn)定性分析儀
- 用LUMiFrac評(píng)價(jià)金屬間的粘結(jié)效果
- TRILOS物聯(lián)網(wǎng)智能三輥機(jī)在電阻器用鎢漿中的應(yīng)用
- LISICO LS-1 分散均質(zhì)測(cè)試儀在墨水中的應(yīng)用
- 揭秘！熱封蓋帶膠水高效分散方案
- TRILOS三輥機(jī)在鋅電池正極漿料分散中的應(yīng)用
業(yè)界頭條
- 加速溶劑萃取濃縮儀中標(biāo)結(jié)果公告
-
項(xiàng)目名稱：上海工程技術(shù)大學(xué)加速溶劑萃取濃縮儀，項(xiàng)目編號(hào)：1123-254202503270，招標(biāo)范圍...
