優(yōu)點(diǎn)
降低缺陷率
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)導(dǎo)致制程缺陷的粒子變化
使用移動(dòng)式計(jì)數(shù)器定位粒子污染源
排除多管采樣的常見(jiàn)漏計(jì)錯(cuò)誤
附件配備齊全，適用于多種應(yīng)用
0.1um粒子監(jiān)測(cè)效率高于傳統(tǒng)設(shè)備
  提高生產(chǎn)效率
存儲(chǔ)/導(dǎo)出采樣方案，節(jié)省潔凈室認(rèn)證時(shí)間
通過(guò)辦公室電腦和網(wǎng)絡(luò)瀏覽器控制潔凈室監(jiān)測(cè)：
設(shè)置，采樣，顯示，打印，下載數(shù)據(jù)，上傳采樣方案等
噪音極小，有利于改善工作環(huán)境
可選擇9種語(yǔ)言顯示和打印
符合ISO,FS或英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的計(jì)算統(tǒng)計(jì)和報(bào)告
同F(xiàn)acility Net 軟件整合，用于全面數(shù)據(jù)管理
告訴下載數(shù)據(jù)至EXCEL ,PDA 或USB存儲(chǔ)器
成本低
使用同一臺(tái)粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行ISO Class 1-9 應(yīng)用
無(wú)需頻繁清洗激光部件
泵的使用壽命長(zhǎng)，無(wú)需每年更換葉片
容易清洗擦拭，設(shè)計(jì)有利于將粒子截留建至zui少
符合ESA/ESD標(biāo)準(zhǔn)的KYDEX機(jī)殼，非常結(jié)實(shí)，抗化學(xué)腐蝕
低溫激光二極管使用壽命更長(zhǎng)；激光部件保修3年
性能
激光二極管
功能全面，噪音極小，使用方便
6個(gè)粒徑通道：0.1-5.0um
可存儲(chǔ)多達(dá)3000套樣本參數(shù)，可進(jìn)行數(shù)據(jù)審核，分檢，過(guò)濾，打印
USB數(shù)據(jù)下載至閃存卡鍵
內(nèi)置熱敏打印機(jī)
彩色液晶大顯示屏：視覺(jué)效果佳，數(shù)據(jù)顯示量大
安靜的無(wú)碳鼓風(fēng)機(jī)/泵；泵和機(jī)柜排氣過(guò)濾
可整合多達(dá)6個(gè)環(huán)境傳感器
可選購(gòu)適用于ISO 1-4 級(jí)潔凈度的高效過(guò)濾器
可選購(gòu)供8小時(shí)連續(xù)移動(dòng)使用的電池/充電器
應(yīng)用
潔凈室監(jiān)測(cè)
高靈敏度應(yīng)用
滿(mǎn)足ISO，F(xiàn)S 或英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)施認(rèn)證
LASAIR II-110規(guī)格
通道極限值： 0.1，0.2，0.3，0.5，1.0，5.0um
流量：       1CFM
校準(zhǔn)：       可追蹤校準(zhǔn)材料，符合NIST標(biāo)準(zhǔn)
測(cè)試方法：   微分遷移分析法驗(yàn)證0.1um粒子
zui大濃度：   大于500,000/立方英尺
零點(diǎn)計(jì)數(shù)：   超過(guò)JIS標(biāo)準(zhǔn)，適用于ISO class 1和2潔凈室
激光源：     激光二極管，zui大3W（正常使用為2W）
激光冷卻：   熱電冷卻，散熱片
保修：       3年激光模塊保修，2年其它組件保修
通訊模式：   以太網(wǎng)或RS-232;可選購(gòu)4-20mA輸出版；USB輸出
環(huán)境傳感器： 可選購(gòu)溫度/相對(duì)濕度探頭；通過(guò)4-20mA輸入整合多達(dá)4臺(tái)外部傳感器
顯示：       1/4VGA彩色液晶顯示器
顯示語(yǔ)言：   英語(yǔ)，法語(yǔ)，德語(yǔ)，意大利語(yǔ)，日語(yǔ)，韓語(yǔ)，西班牙語(yǔ)，中文
打印機(jī)：     內(nèi)置熱敏打印機(jī)
報(bào)告：       樣本打印帶；ISO/FS209/英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室規(guī)則達(dá)標(biāo)zui終報(bào)告；多次運(yùn)行平均值；警報(bào)打印；采樣配置打印
遠(yuǎn)程控制：   通過(guò)網(wǎng)絡(luò)瀏覽器操作設(shè)備；保存或運(yùn)行采樣方案
軟件關(guān)鍵性能：采樣方案，預(yù)定采樣，歷史數(shù)據(jù)篩選，分檢和審核，密碼保護(hù)
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：   3000套數(shù)據(jù)
數(shù)據(jù)和采樣安全： 存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)記錄不可更改；采樣方案可由密碼保護(hù)
外表面：      KYDEX底盤(pán)，聚酯顯示屏，鍍鋅鋼底座均符合ESA/ESD標(biāo)準(zhǔn)
清潔材料：    漂白劑，甲醛，乙/異丙醇，過(guò)氧化氫
監(jiān)測(cè)清潔度：  內(nèi)部過(guò)濾泵排氣和機(jī)柜排氣
尺寸：        45 X 35 X 32 cm
電源：        85-264V，50-60Hz
工作環(huán)境：    溫度15-30攝氏度；濕度 10-85% 非冷凝