精密步進投影數字光刻機

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公司名稱 北京優仕錦科技發展有限公司
品牌
型號
產地
廠商性質 生產廠家
更新時間 2017/11/22 20:22:25
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數字光刻機

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北京優仕錦科技發展有限公司致力于從事科研、設計、生產和銷售的技術型企業，產品覆蓋實驗室，化工，醫藥等領域.是一家充滿朝氣與活力的年輕公司。公司致力于工業技術的Z前沿研發，并建立了全面質量管理體系，并通過國家機構的認證。在設計、生產與服務的全過程中嚴格貫徹執行ISO 9000-2001質量管理體系標準，

“顧客滿意是我們永恒的追求！”是優仕錦公司的質量方針。我們深信：工業技術和信息化的發展與結合將會給我們的科技與生活帶來巨大的甚至是革命性的改變，這是一項偉大的事業，因此我們專注于此。同時我們堅信：光憑*的技術和優良穩定的運作平臺，并不足以代表贏得成功，顧客還需要更好的服務。因此我們以較好的“信息誠信服務”為企業發展宗旨。以技術*、市場標準、信譽*、服務*、為企業方針力圖締造一個*的服務平臺。更進一步的站在客戶的立場，以研究開發的姿態繼續開發新的產品與服務。

優仕錦通過與*光電技術研究所,微電子研究所,半導體體所,國家納米技術中心,*等所的技術合作，全面提升研發實力和工藝水平，建成符合現代化企業制度要求的創新型*。本公司一貫秉承以人為本的理念，開拓、創新、銳意進取，不斷創新技術，為打造國內(優仕錦)而不懈努力!

企業目標：打造！中國！中國民族品牌！

企業精神：勤奮、務實、專業、高效、誠信、感恩

優仕錦——善于創新的思維、充滿激情的態度和團隊合作的精神

優仕錦——在充滿激情的北京優仕錦中快速成長中，獲得施展才華的舞臺

優仕錦——在互聯網逐漸普及、北京優仕錦伴隨著的穩健發展，成就*企業

那么，無疑北京優仕錦是你Z適合的選擇！

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電熱板,電熱消解,水循環

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精密步進投影數字光刻機

型號 DS-2000/14型
1．技術特征采用DMD作為數字掩模，像素1024×768
采用1倍縮小投影光刻物鏡成像，一次曝光面積約14mm×10mm
采用技術——積木錯位蠅眼透鏡實現均明。
采用進口精密光柵、進口電機、進口導軌、進口絲杠實現精確工件定位和曝光拼接，
可適應100mm×100mm基片。
2．技術參數
光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）；
照明均勻性：±2%；物鏡倍率：1倍
曝光場面積：14mm×10mm 光刻分辨力：14μm
工件臺運動范圍：X：100mm、 Y：100mm；
工件臺運動定位精度：±1.5μm；
調焦臺運動靈敏度：1μm；
調焦臺運動行程：6mm 轉動臺行程：±6°以上
基片尺寸外徑: Ф15mm—Ф100mm，
厚度：0.1mm--5mm
3．外形尺寸：840mm（長）×450mm（寬） ×830mm（高）

無掩模光刻機系統關鍵技術：曝光光學系統、光勻化技術、圖形發生器、投影物鏡、對焦系統、對準系統、精密工件臺、步進拼接、控制軟件等

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