型號:Wibon-2K
核心功能描述:
1)采用體視顯微系統,綜合放大倍率為8.0-100倍;
2)超深景深,適合薄膜、厚膜、深腔(LTCC)三類鍵合絲缺陷掃描;
3)采用特種組合光源實現高亮環形及同軸光可切換照明;
4)快速掃描拼圖,掃描速度>30mm2/秒;
5)超長物鏡工作距離>50mm;
6)高品質快速掃描成像系統;
7) 自帶全功能缺陷掃描及分類軟件,同時支持長方形及半圓件檢測;
核心特點:
1、組合環形光照明,凸顯鍵合 細節,保障精確檢測;
2、高速掃描拼圖及缺陷標注系統;
3、超長工作距離,實現薄膜、厚膜深腔(LTCC)各類器件缺陷掃描;
核心系統配置
用途
鍵合工藝掃描- 缺線、斷線、彎線、交叉絲
型號
Wibon-2K
工作臺
全自動掃描工作臺
行程:
110mm x 110mm
220mm x 220mm
反饋系統
線性反饋系統
解析率:
0.1um/1.0um可選
聚焦
電動聚焦系統,快速鎖定焦平面,保障高效精確檢測
探測系統
特殊顯微組合設計
快速掃描成像系統
綜合放大倍率
8.0x~100x
超長工作距離
> 50mm
照明方式
組合環形光源及同軸光可切換照明
軟件系統
高性能鍵合掃描及分析算法軟件系統
檢查性能
高品質自動抓圖及拼圖功能,確保無漏檢;(自動掃描誤檢率<5%,結合人工廻檢可確保無漏檢)
掃描速度
> 30mm2 / s
隔震系統
氣浮隔震系統
緊湊電氣操控
標配外觀尺寸
長:1200mm 寬:800mm 高:1500mm
鍵合檢查原理說明
“四要素法”編程:
對于每一個產品序列的基板,在大量檢測前由工程師對標準板進行編程(Bonding MAP),編程的基本要素為
1、器件的中心位置;
2、鍵合起始點及允許誤差;
3、鍵合終點及允許誤差;
4、鍵合路徑,在檢測過程中會根據鍵合起點及終點誤差計算路徑允差;