日本HOYA豪雅

HSL系列激光振蕩器的技術架構

日本HOYA豪雅HSL-5500III/5000III采用雙直線襯套諧振結構，激光頭與框架使用高剛性合金材料，抗振性能達傳統型號200%，XY軸向操作穩定性提升顯著。系統配備石英防塵罩（氣密性提升3倍）與PFN激光電源，通過電動狹縫實現±5μm級精度調節，支持4組加工參數記憶功能，滿足半導體晶圓修復等高精度需求。

核心性能優勢

環境適應性：

溫度補償諧振器可將光路偏移控制在0.01mm/℃內，適應5-40℃工作環境

模塊化設計允許快速更換激光管（壽命2000小時）與過濾器（單觸式更換）

能效比優化：

空冷式HSL-4000III機型無需外接冷卻水，能耗降低40%

軟件線性調控系統可實時匹配1064nm/532nm/355nm多波長輸出

行業應用實績：

全球累計裝機超2000臺，主要應用于：

? FPC柔性電路板激光鉆孔（最小孔徑20μm）

? 液晶面板ITO膜層修復（定位精度±3μm）

? 醫療設備精密焊接（熱影響區＜50μm）

技術演進方向

2025年新款HSL-6000系列將集成AI實時監測系統，通過光譜分析自動補償能量波動，預計加工效率提升15%。現有HSL-5500III已通過CE認證與RoHS環保標準，支持定制化光路擴展接口。

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