C60-20S離子束
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- 公司名稱 上海富瞻環保科技有限公司
- 品牌 IONOPTIKA
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/14 16:18:22
- 訪問次數 44
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C60-20S離子束
C60-20S是一種高性能離子束,設計用于濺射表面,具有最小的損傷和減少的沿周濺射效應。
C60-20S在高達20kV的電壓下工作,可有效地濺射材料,且損傷最小,無需重新沉積碳。
C60是XPS、AES和SIMS的理想升級組件,可在多種材料上均勻濺射。
Applications
聚合物的高速、低化學損傷蝕刻。
C60離子濺射的速度比單原子束(包括氬和氙)快50倍,同時對底層材料造成的損害要小得多。
下圖比較了15kev的C60濺射產率與15kev金、氙鎵和氬的TRIM數據。在相反的例子中,用C60和單原子氬離子束濺
射清洗PTFE薄膜。
雖然兩種離子束都去除了表面污染,但只有C60離子束的表面化學性質沒有發生變化。