多介質過濾器：采用三層濾料設計（上層 2-4mm 無煙煤，中層 1-2mm 石英砂，下層 4-8mm 鵝卵石），總高度 1200mm。通過篩分與吸附作用，去除原水中粒徑＞10μm 的懸浮物、泥沙，使出水濁度≤1NTU，污染指數（SDI）≤3，為反滲透系統提供合格進水。設備配備全自動反沖洗裝置，當進出口壓差達 0.1MPa 或運行 48 小時后，啟動氣水聯合反沖（空氣擦洗 5 分鐘 + 水沖 15 分鐘），反沖洗水回收率≥90%。

活性炭過濾器：填充碘值≥1200mg/g 的柱狀椰殼活性炭，層高 1500mm，高效吸附原水中的余氯（去除率≥99.5%）、有機物（TOC 去除率≥70%）及部分重金屬（如鐵、錳）。余氯的深度去除可避免其氧化反滲透膜，有機物的吸附則減少 EDI 系統的硅污染風險（光伏行業對硅含量要求嚴苛）。過濾器每 72 小時自動反沖洗一次，每年更換一次活性炭濾料。

軟化器：采用雙罐并聯式設計（一用一備），內裝強酸性鈉型陽離子交換樹脂，將原水中的鈣、鎂離子置換為鈉離子，使出水硬度≤0.03mmol/L，防止反滲透膜與 EDI 模塊結垢。樹脂再生采用 10% 氯化鈉溶液，再生周期根據原水硬度自動調節（通常為 24 小時），再生后交換容量恢復率≥98%，確保連續供水無間斷。

阻垢劑投加系統：通過高精度計量泵投加光伏專用阻垢劑（如含硅阻垢成分的聚羧酸酯類），投加濃度 3-5mg/L，專門抑制硅、鈣、鎂離子的結晶析出（光伏原水常含一定硅濃度），阻垢效率≥95%。計量泵流量與進水流量聯動，確保投加濃度穩定。

精密過濾器：采用 3μm 孔徑的 PP 折疊濾芯（10-12 支并聯），截留預處理殘留的微小顆粒與膠體，濾芯過濾面積≥40㎡，更換周期為 2-3 周（根據壓差＞0.1MPa 判斷），更換過程支持在線操作，不影響系統運行。

采用抗污染型復合反滲透膜（如陶氏 BW30-400FR），膜元件數量 24 支，排列方式 8:4（第一段 8 支，第二段 4 支），單支膜面積 400ft2，操作壓力 1.2-1.5MPa，水溫 25℃時脫鹽率≥98%，硅去除率≥95%，產水電導率≤50μS/cm，水回收率 70-75%。

配備 316L 不銹鋼高壓泵（流量 18m3/h，揚程 160m），采用變頻控制技術，根據進水壓力自動調節轉速，節能率≥20%；系統安裝在線電導率儀、硅含量檢測儀，實時監控關鍵指標。

選用高脫鹽率膜元件（如海德能 ESPA4），數量 16 支，排列方式 6:3，操作壓力 0.8-1.0MPa，脫鹽率≥99.5%，硅去除率≥99%，產水電導率≤10μS/cm，滿足 EDI 系統進水要求。

二級濃水回流至一級反滲透進水端，系統總回收率提升至 80-85%；產水進入 316L 不銹鋼中間水箱（容積 3m3），水箱配備氮氣保護裝置，防止空氣中的 CO?與硅污染。

EDI 模塊：選用光伏專用 EDI 模塊（如西門子 IP-LXM45），4-6 個并聯運行，每個模塊處理流量 2-3m3/h。在直流電場作用下，通過樹脂與膜協同作用，將水中殘余離子遷移至濃水室排出，產水電阻率穩定在 15-18.2MΩ?cm，TOC≤5ppb，硅≤0.1ppb，金屬離子（Fe、Cu、Zn 等）≤0.01ppb，光伏生產要求。

運行參數：操作壓力 0.4-0.6MPa，進水溫度 20-25℃，濃水排放率≤5%，極水排放率≤1%，功耗≤0.3kW?h/m3。系統配備在線電阻率儀、硅分析儀，實時監控模塊運行狀態，確保產水質量穩定。

濃水循環系統：EDI 濃水采用部分循環設計（循環流量為進水流量的 30-50%），提高濃水離子濃度，增強除硅效率，同時降低濃水排放量，節水。

紫外線殺菌器：采用雙波長（185nm+254nm）紫外燈管，功率 300W，照射劑量≥40mJ/cm2。254nm 波長殺滅微生物（殺菌率≥99.99%），防止細菌污染硅片；185nm 波長氧化分解殘留有機物（TOC 再降 30%），避免有機物在高溫工藝中碳化影響電池性能。燈管壽命 8000 小時，系統自動計時提醒更換。

終端超濾器：采用 0.05μm 孔徑的 PES 中空纖維超濾膜，過濾面積≥80㎡，操作壓力 0.1-0.2MPa，去除水中的微生物、膠體及粒徑≥0.05μm 的顆粒（去除率≥99.99%），防止顆粒物劃傷硅片表面。

光伏專用脫氣裝置：增設膜式脫氣裝置，去除水中溶解的 CO?（去除率≥99%），避免 CO?與水中微量離子結合形成碳酸鹽，影響硅片清洗后的表面電阻率。脫氣后水中 CO?含量≤1ppm，進一步保障電池片性能。

超純水儲罐：容積 20-30m3，采用 316L 不銹鋼材質，內壁電拋光（Ra≤0.4μm），設計。配備夾套式溫控裝置，將水溫穩定在 20-25℃（光伏清洗水溫要求嚴格），頂部安裝氮氣密封系統（氮氣純度≥99.999%），維持罐內微正壓（0.02-0.03MPa），防止空氣中的污染物進入。

分配管路系統：采用 316L 不銹鋼管道，內壁電拋光（Ra≤0.4μm），管徑 DN80-DN100，通過自動軌道焊接連接。管路設計為循環回路，水流速≥1.5m/s，避免水流停滯；配備變頻循環泵，確保各用水點壓力穩定在 0.3-0.5MPa，滿足硅片清洗機的水壓要求。

在線監測系統：在儲罐出口、循環管路及硅片清洗機用水點安裝在線電導率儀（精度 ±0.01μS/cm）、TOC 分析儀（檢測限≤1ppb）、硅分析儀、顆粒計數器（檢測粒徑≥0.1μm），實時監測關鍵指標，數據傳輸至中央控制系統，超標時自動報警并啟動排放程序，確保不合格水不進入生產環節。

雙級反滲透濃水回收設計，水回收率達 80% 以上，相比傳統設備節水 30%，降低光伏生產水耗成本；

變頻泵與優化管路設計，綜合節能率≥20%；

EDI 系統無需酸堿再生，每年減少化學藥劑消耗與廢液處理成本≥8 噸，符合光伏行業環保要求。

硅片清洗：去除硅片表面的切割液、顆粒雜質，高純度超水可避免殘留離子影響后續擴散工藝，提升電池片均勻性。

制絨工藝：作為制絨液的稀釋用水，低硅、低金屬離子的超水可確保絨面均勻，提高光吸收效率。

擴散工藝：用于擴散爐管的清洗，防止水中雜質污染擴散層，保障 PN 結質量。

刻蝕與鍍膜：作為刻蝕液配制與鍍膜前清洗用水，高純度水質可減少缺陷率，提升電池片可靠性。

日常維護：每日記錄電阻率（≥18.2MΩ?cm）、硅含量（≤0.1ppb）等關鍵指標；每周更換精密過濾器濾芯；每月檢查氮氣密封壓力與管路泄漏情況。

定期保養：每 3 個月校準在線硅分析儀與 TOC 儀；每 6 個月對反滲透膜進行化學清洗（酸洗 + 堿洗），重點去除硅垢；每年更換 EDI 模塊樹脂與終端超濾膜，確保除硅效率。

光伏專項維護：每季度對分配系統進行硅污染檢測，若硅含量超標，啟動專用硅清洗劑循環清洗；制絨工序用水點每年進行金屬離子專項檢測，確保滿足工藝要求。