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Wafergard® II F Mini XL 美國Entegris 在線氣體過濾器 深圳
- 公司名稱 北崎國際貿易(北京)有限公司
- 品牌 Entegris
- 型號 Wafergard® II F Mini XL
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/7/10 15:52:28
- 訪問次數(shù) 26
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 1千-1萬 |
---|---|---|---|
應用領域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,電氣 |
美國Entegris 在線氣體過濾器 深圳
美國Entegris 在線氣體過濾器 深圳
Wafergard® II F Mini XL 在線氣體過濾器,在氣柜、氣柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方實現(xiàn)顆粒過濾。
緊湊的裝置減少了氣室的整體占地面積,節(jié)省了寶貴的設備空間
PTFE 膜提供高效過濾,提高產(chǎn)品產(chǎn)量 低壓降降低了低蒸氣壓氣體中冷凝的風險
與所有類型的半導體工藝氣體具有出色的兼容性 適用于惰性和反應性氣體,包括臭氧
應用Wafergard® II F Mini XL 在線氣體過濾器應用臭氧應用(氣體)
氣柜 超純氣體系統(tǒng) 閥島箱 燃氣板 產(chǎn)品規(guī)格材料 濾芯 由模制 PFA 結構支撐的疏水性 PTFE 膜
住房 電解拋光 316L 不銹鋼 下游清潔度 粒子 <0.03 個顆粒/升(<1 個顆粒/英尺3) >0.01微米
揮發(fā) 物 <10 ppb 水分 去除等級 0.0015 微米 內飾表面光潔度 ≤10 μin Ra
氦氣泄漏等級 合格 2 × 10-10自動取款機/CC-秒 測試 1 × 10-9自動取款機/CC-秒
工作條件 最大入口壓力: 20.7 MPa (207 barg;3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向壓差: 0.4 MPa (4 bar;60 psid) @ 23°C (73°F)
最大壓差: 0.07 MPa (0.7 bar;10 psid) @ 23°C (73°F) 最高工作溫度: 120°C (248°F)
顆粒截留 大于 99.99999999% (9 LRV) 去除所有顆粒 @ 100 slpm(以具穿透力的顆粒尺寸為參考)
流量等級 請參閱性能數(shù)據(jù)
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