Wafergard® II F 美國Entegris 微型在線氣體過濾器 北京
- 公司名稱 北崎國際貿易(北京)有限公司
- 品牌 Entegris
- 型號 Wafergard® II F
- 產地 美國
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/7/10 15:49:03
- 訪問次數 20
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產地類別 | 進口 | 價格區間 | 1千-1萬 |
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應用領域 | 環保,化工,生物產業,電子/電池,電氣 |
美國Entegris 微型在線氣體過濾器 北京
美國Entegris 微型在線氣體過濾器 北京
Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器,這些氣體過濾器推薦用于惰性和反應性氣體,與所有類型的半導體工藝氣體具有出色的兼容性,并且易于安裝在狹窄的氣體面板和機柜中。
PTFE 膜提供高效過濾 低壓降降低了在低蒸氣壓氣體中冷凝的風險 與所有類型的半導體工藝氣體具有出色的兼容性
適用于惰性和反應性氣體,包括臭氧 應用Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器應用生命科學應用
臭氧應用(氣體) 氣柜和面板 超純氣體系統 內部工藝工具 產品規格材料 濾芯
由模制 PFA 結構支撐的疏水性 PTFE 膜 外殼 電解拋光 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度 低于 0.03 個顆粒/升(<1 個顆粒/英尺)3) 大于 0.01 μm
揮發 物 <10 ppb 水分 去除等級 ≥0.0015 微米 內飾表面光潔度 ≤7 μin Ra
氦氣泄漏等級 合格 2 × 10-10cc/秒 測試 1 × 10-9cc/秒
工作條件 最大入口壓力 207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F) 最大正向壓差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
最大反向壓差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F) 最高工作溫度 120°C (248°F)
顆粒截留 對所有顆粒的去除率大于 99.9999999% (9 LRV) @ 30 slpm(以具穿透力的顆粒尺寸為參考)
流量等級 請參閱性能數據
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