CYR-E-HF 氫氟酸濃度在線監(jiān)測儀 泛半導體檢測設備
參考價 | ¥ 9999 | ¥ 8888 |
訂貨量 | 1-9套 | ≥10套 |
- 公司名稱 湖南楚一機電有限公司
- 品牌 楚一測控
- 型號 CYR-E-HF
- 產地 湖南長沙
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/11 17:19:35
- 訪問次數(shù) 36
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主營產品:在線濃度計,濃度在線光電折光儀,在線濃度測定儀,溶液在線濃度儀,在線濃度折光儀,濃度在線檢測儀,在線濃度檢測儀,在線折光儀,在線濃度測量儀,濃度在線監(jiān)測儀,濃度在線監(jiān)控自動配液設備,在線濃度測試儀。
測量范圍 | 0-55% | 產地類別 | 國產 |
---|---|---|---|
產品種類 | 在線 | 價格區(qū)間 | 5千-1.5萬 |
數(shù)顯功能 | 有 | 溫控功能 | 有 |
應用領域 | 食品/農產品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合 | 測量項目 | 折射率、溫度、濃度 |
分 辨 率 | 0.01% | 重復精度 | ± 0.02% |
測量溫度 | 0至130℃ | 溫度補償 | 0至130℃ |
觸液面材質 | 超純PTFE或PFA | 防護等級 | IP65 |
工藝壓力 | ≤1MPa | 安裝選項 | 1/2英寸管路安裝 |
輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
產品介紹
氫氟酸(HF)是一種無色透明的液體,具有刺激性氣味,具備腐蝕性和毒性。氫氟酸能夠強烈腐蝕金屬、玻璃等多種材料,還易溶于水并形成溶液,具有揮發(fā)性,會釋放出氟化氫氣體。
在泛半導體制造中,氫氟酸被廣泛應用于晶圓清洗,用于去除表面污染物以提高潔凈度;在氧化層刻蝕中,它能精確控制刻蝕深度和均勻性,實現(xiàn)精細圖形的轉移,同時還參與表面處理和化學拋光等工藝。然而,氫氟酸的濃度控制至關重要,它直接影響刻蝕速率和均勻性,進而關系到芯片的性能和良率。濃度過高可能損傷精密設備,而濃度過低則無法達到理想的工藝效果。此外,控制氫氟酸濃度還能確保操作人員的安全,避免因接觸高濃度氫氟酸而造成傷害。
楚一測控氫氟酸濃度在線監(jiān)測儀為泛半導體行業(yè)的氫氟酸濃度監(jiān)測提供了創(chuàng)新解決方案。傳統(tǒng)的離線分析方法不僅耗時、易出錯,更無法滿足行業(yè)對實時監(jiān)控的嚴苛要求。而氫氟酸濃度在線監(jiān)測儀專為泛半導體行業(yè)設計,能夠對生產過程中的氫氟酸濃度進行實時監(jiān)測,滿足行業(yè)對高精度、高可靠性的需求。它可以在線監(jiān)測晶圓清洗槽中的氫氟酸濃度,確保清洗效果穩(wěn)定;實時監(jiān)控刻蝕液中的氫氟酸濃度,實現(xiàn)對刻蝕工藝的精確控制;還能用于氫氟酸回收系統(tǒng),優(yōu)化回收效率,降低生產成本。在線折光儀的實時監(jiān)控功能能夠快速響應,及時反映濃度變化,避免批次間的差異;其無損測量方式不接觸樣品,避免污染,保證工藝的純凈度;并且可以與控制系統(tǒng)集成,實現(xiàn)自動化調節(jié),提高生產效率。
氫氟酸濃度在線監(jiān)測儀基于折光原理進行測量。光線從棱鏡射入氫氟酸溶液時會發(fā)生折射現(xiàn)象,折射角的大小與氫氟酸的濃度有關,濃度越高,折射角越大。通過測量折射角并結合溫度補償,儀表可以精準計算出氫氟酸的濃度。這種測量方式具有諸多優(yōu)勢:折射率測量精度高,能夠準確反映濃度變化;抗干擾能力強,受樣品顏色和濁度的影響小;結構簡單,維護成本低。
選擇氫氟酸濃度在線監(jiān)測儀,您將獲得專為泛半導體行業(yè)優(yōu)化的高性能設備。我們采用特種耐氫氟酸腐蝕材質(超純PTFE、PFA),確保儀表在苛刻的化學環(huán)境中長期穩(wěn)定運行,避免腐蝕造成的測量誤差。高精度光學傳感器和能夠實現(xiàn)對氫氟酸濃度的準確測量,滿足泛半導體行業(yè)對高精度的需求。內置高精度溫度傳感器可實現(xiàn)自動溫度補償,消除溫度變化對測量結果的影響,保證測量精度。同時,我們還提供定制化服務,可根據(jù)客戶的具體工藝需求,提供個性化的解決方案。
技術參數(shù)
產品型號 | CYR-E-HF |
測量項目 | 折射率、溫度、濃度 |
測量范圍 | 0-55% |
分 辨 率 | 0.01% |
重復精度 | ± 0.02% |
測量溫度 | 0至130℃ |
溫度補償 | 0-130℃ |
關鍵材質 | 觸液面材質:超純PTFE或PFA;外殼:襯氟 |
棱鏡材質 | 光學級藍寶石 |
信號輸出 | DC4至20mA & RS485;2路開關量信號輸出 |
輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
防護等級 | IP65 |
工藝壓力 | ≤1MPa(10Bar)更高壓力等級可定制 |
尺寸重量 | 傳感器:¢119 * 188mm / 約2.0KG |
安裝選項 | 1/2英寸管路安裝 |
其他功能 | 多功能主機操作面板可查看濃度、溫度、折射率等數(shù)據(jù) 支持故障碼提示、一鍵校零、恢復出廠設置、曲線記錄及數(shù)據(jù)導出等功能 |